[发明专利]液滴喷射器

权利要求书

1.一种用于打印头的液滴喷射器，所述液滴喷射器包括：基材，所述基材具有安装表面和相对的喷嘴表面；喷嘴形成层，所述喷嘴形成层在所述基材的所述喷嘴表面的至少一部分上形成；流体腔室，所述流体腔室至少部分地由所述基材限定并且至少部分地由所述喷嘴形成层限定，所述流体腔室具有至少部分地由所述喷嘴形成层的喷嘴部分限定的流体腔室出口，所述喷嘴部分包括内部部分和外部部分，所述内部部分更靠近所述流体腔室出口定位，所述外部部分更靠近所述喷嘴部分的周边定位；以及形成在所述喷嘴形成层的所述喷嘴部分的所述内部部分上的内部致动器布置和形成在所述喷嘴形成层的所述喷嘴部分的所述外部部分上的外部致动器布置中的任一个或两者，

其中，所述内部致动器布置和/或所述外部致动器布置中的至少一个以及所述喷嘴形成层的所述喷嘴部分构造成使得，在激活时，所述喷嘴部分的所述内部部分在第一定向上弯曲，而所述喷嘴部分的所述外部部分在与所述第一定向相反的第二定向上弯曲。

2.根据权利要求1所述的液滴喷射器，其特征在于，所述喷嘴形成层的所述喷嘴部分的所述外部部分至少部分地环绕所述喷嘴形成层的所述喷嘴部分的所述内部部分。

3.根据权利要求1所述的液滴喷射器，其特征在于，所述内部致动器布置至少部分地环绕所述流体腔室出口。

4.根据权利要求1所述的液滴喷射器，其特征在于，所述内部致动器布置和/或所述外部致动器布置都是基本上圆环形的。

5.根据权利要求1所述的液滴喷射器，其特征在于，还包括与所述基材集成在一起的至少一个电子部件。

6.根据权利要求1所述的液滴喷射器，其特征在于，包括内部致动器布置，所述内部致动器布置包括一个或多个内部压电致动器，所述一个或多个内部压电致动器中的至少一个包括设置在内部成对驱动电极之间的内部压电本体。

7.根据权利要求6所述的液滴喷射器，其特征在于，所述内部致动器布置包括基本上圆环形的单个内部压电致动器。

8.根据权利要求7所述的液滴喷射器，其特征在于，包括外部致动器布置，所述外部致动器布置包括一个或多个外部压电致动器，所述一个或多个外部压电致动器中的至少一个包括设置在外部成对驱动电极之间的外部压电本体。

9.根据权利要求8所述的液滴喷射器，其特征在于，所述外部致动器布置包括基本上圆环形的单个外部压电致动器。

10.根据权利要求9所述的液滴喷射器，其特征在于，所述单个外部压电致动器环绕所述单个内部压电致动器。

11.根据权利要求8所述的液滴喷射器，其特征在于，所述内部成对驱动电极和所述外部成对驱动电极均电连接到驱动电路，所述驱动电路构造成在使用中并连接到电源时，在内部成对电极之间施加第一电势差以致使所述内部压电本体在第一方向上的偏转，并且在外部成对电极之间施加第二电势差，以致使所述外部压电本体在与所述第一方向相反的第二方向上偏转。

12.根据权利要求8所述的液滴喷射器，其特征在于，一个或多个内部压电本体和/或一个或多个外部压电本体包括能在低于450℃的温度下处理的一种或多种压电材料。

13.根据权利要求8所述的液滴喷射器，其特征在于，一个或多个内部压电本体和/或一个或多个外部压电本体包括能在低于450℃的温度下沉积的一种或多种压电材料。

14.根据权利要求12所述的液滴喷射器，其特征在于，所述一种或多种压电材料是PVD沉积的压电材料。

15.根据权利要求12所述的液滴喷射器，其特征在于，所述一种或多种压电材料包括氮化铝和/或氧化锌。