[发明专利]氧化锌薄膜形成用组合物和氧化锌薄膜的制造方法

权利要求书

1.用于在小于200℃的基材温度通过液滴涂布法形成氧化锌膜的组合物，其含有下述通式(1)所示的有机锌化合物和有机金属化合物，前述有机金属化合物中含有的金属元素是钛、铁、铜或钒，关于前述有机金属化合物的含量，相对于前述有机锌化合物中含有的锌和有机金属化合物中含有的金属元素的合计，有机金属化合物中含有的金属元素的百分率(at%)为0.01~10的范围，

式中，R¹是碳数1~7的直链或支链的烷基。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，前述有机金属化合物含有烷氧基或氨基作为配体。

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，关于前述有机金属化合物的含量，相对于前述有机锌化合物中含有的锌和有机金属化合物中含有的金属元素的合计，有机金属化合物中含有的金属元素的百分率(at%)为3~10的范围。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中，前述有机锌化合物为二乙基锌。

5.根据权利要求1所述的组合物，其还含有有机溶剂。

6.根据权利要求4所述的组合物，其中，前述有机溶剂为烃系溶剂或供电子性有机溶剂。

7.提高氧化锌膜的UV-A屏蔽率的方法，所述氧化锌膜通过将含有下述通式(1)所示的有机锌化合物的涂布液在小于200℃的基材温度进行液滴涂布而形成，其中，使前述涂布液中含有有机金属化合物，且前述有机金属化合物中含有的金属元素是钛、铁、铜或钒，关于前述有机金属化合物的含量，相对于前述有机锌化合物中含有的锌和有机金属化合物中含有的金属元素的合计，有机金属化合物中含有的金属元素的百分率(at%)为0.01~10的范围，

式中，R¹是碳数1~7的直链或支链的烷基。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，以在相同基材温度形成的使用不含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的UV-A屏蔽率为100时，使用含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的UV-A屏蔽率增大至104以上。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，以在相同基材温度形成的使用不含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的可见光区域透过率为100时，使用含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的可见光区域透过率为80以上。

10.氧化锌膜的制造方法，其包括将权利要求1~5中任一项所述的组合物在小于200℃的基材温度进行液滴涂布，形成氧化锌膜。

11.根据权利要求10所述的制造方法，其中，前述液滴涂布在水存在的气氛中进行。

12.根据权利要求10所述的制造方法，其中，以在相同基材温度形成的使用不含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的UV-A屏蔽率为100时，得到UV-A屏蔽率为104以上的氧化锌膜。

13.根据权利要求10所述的制造方法，其中，以在相同基材温度形成的使用不含有有机金属化合物的涂布液形成的氧化锌膜的可见光区域透过率为100时，得到可见光区域透过率为80以上的氧化锌膜。

14.根据权利要求10所述的制造方法，其中，所形成的氧化锌膜的膜厚为1μm以下。