[发明专利]层叠体、水溶性树脂组合物、试剂盒在审
申请号: | 201980016086.8 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN111788527A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 增田诚也 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;B32B27/18;B32B27/30;C08F220/10;C08L29/04;C08L39/06;C08L101/14;G03F7/20;G03F7/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 层叠 水溶性 树脂 组合 试剂盒 | ||
1.一种层叠体,其具有部件及与所述部件的表面接触的水溶性树脂层,所述水溶性树脂层为在浸渍于25℃的水中时以0.1μm/秒~3.0μm/秒的速度进行溶解的层,所述水溶性树脂层由水溶性树脂组合物形成,所述水溶性树脂组合物包含水溶性树脂及含有乙炔基的表面活性剂,
所述水溶性树脂组合物与所述部件的静态接触角为69°以下。
2.根据权利要求1所述的层叠体,其中,
所述表面活性剂包含由下述式(9)表示的化合物,
R91-C≡C-R92 (9)
式中,R91及R92分别独立地表示碳原子数3~15的烷基、碳原子数6~15的芳香族烃基或碳原子数4~15的芳香族杂环基。
3.根据权利要求1所述的层叠体,其中,
所述表面活性剂包含由下述式(91)表示的化合物,
R93~R96分别独立地为碳原子数1~24的烃基,n9为1~6的整数,m9为n9的2倍的整数,n10为1~6的整数,m10为n10的2倍的整数,l9及l10分别独立地为0以上且12以下的数。
4.根据权利要求1所述的层叠体,其中,
所述表面活性剂包含由下述式(92)表示的化合物,
R93、R94、R97~R100分别独立地为碳原子数1~24的烃基,l11及l12分别独立地为0以上且12以下的数。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的层叠体,其中,
所述表面活性剂的在23℃的条件下的、0.1质量%水溶液的表面张力为45mN/m以下。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠体,其中,
所述水溶性树脂层的膜厚面内均匀性为5%以下。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的层叠体,其中,
构成所述水溶性树脂层的水溶性树脂包含由下述式(P1-1)表示的构成单元及由式(P1-2)表示的构成单元中的至少1种构成单元,
式(P1-1)及(P1-2)中,RP1分别独立地为氢原子或甲基,np及mp为正整数。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的层叠体,其中,
在所述水溶性树脂层上具有感光层。
9.根据权利要求8所述的层叠体,其中,
在所述水溶性树脂层表面具有所述感光层。
10.根据权利要求8或9所述的层叠体,其中,
通过对所述感光层进行曝光,并使用包含有机溶剂的显影液进行显影,而在感光层上形成有图案。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的层叠体,其中,
所述感光层包含光产酸剂和感光性树脂。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的层叠体,其中,
所述部件为有机半导体层。
13.一种水溶性树脂组合物,其用于形成权利要求1至12中任一项所述的层叠体所具有的水溶性树脂层,所述水溶性树脂组合物包含含有乙炔基的表面活性剂、水溶性树脂及水系溶剂。
14.根据权利要求13所述的水溶性树脂组合物,其中,
由所述水溶性树脂组合物形成的水溶性树脂层在浸渍于25℃的水中时以0.1μm/秒~3.0μm/秒的速度进行溶解。
15.一种试剂盒,其为用于制作层叠体的树脂组合物的试剂盒,所述层叠体依次具有部件、水溶性树脂层及感光层,所述试剂盒包含权利要求13或14所述的水溶性树脂组合物和感光性树脂组合物。
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