[发明专利]层叠体、水溶性树脂组合物、试剂盒在审

专利信息
申请号: 201980016086.8 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN111788527A 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 增田诚也 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G03F7/11 分类号: G03F7/11;B32B27/18;B32B27/30;C08F220/10;C08L29/04;C08L39/06;C08L101/14;G03F7/20;G03F7/32
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 薛海蛟
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 层叠 水溶性 树脂 组合 试剂盒
【权利要求书】:

1.一种层叠体,其具有部件及与所述部件的表面接触的水溶性树脂层,所述水溶性树脂层为在浸渍于25℃的水中时以0.1μm/秒~3.0μm/秒的速度进行溶解的层,所述水溶性树脂层由水溶性树脂组合物形成,所述水溶性树脂组合物包含水溶性树脂及含有乙炔基的表面活性剂,

所述水溶性树脂组合物与所述部件的静态接触角为69°以下。

2.根据权利要求1所述的层叠体,其中,

所述表面活性剂包含由下述式(9)表示的化合物,

R91-C≡C-R92 (9)

式中,R91及R92分别独立地表示碳原子数3~15的烷基、碳原子数6~15的芳香族烃基或碳原子数4~15的芳香族杂环基。

3.根据权利要求1所述的层叠体,其中,

所述表面活性剂包含由下述式(91)表示的化合物,

R93~R96分别独立地为碳原子数1~24的烃基,n9为1~6的整数,m9为n9的2倍的整数,n10为1~6的整数,m10为n10的2倍的整数,l9及l10分别独立地为0以上且12以下的数。

4.根据权利要求1所述的层叠体,其中,

所述表面活性剂包含由下述式(92)表示的化合物,

R93、R94、R97~R100分别独立地为碳原子数1~24的烃基,l11及l12分别独立地为0以上且12以下的数。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的层叠体,其中,

所述表面活性剂的在23℃的条件下的、0.1质量%水溶液的表面张力为45mN/m以下。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠体,其中,

所述水溶性树脂层的膜厚面内均匀性为5%以下。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的层叠体,其中,

构成所述水溶性树脂层的水溶性树脂包含由下述式(P1-1)表示的构成单元及由式(P1-2)表示的构成单元中的至少1种构成单元,

式(P1-1)及(P1-2)中,RP1分别独立地为氢原子或甲基,np及mp为正整数。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的层叠体,其中,

在所述水溶性树脂层上具有感光层。

9.根据权利要求8所述的层叠体,其中,

在所述水溶性树脂层表面具有所述感光层。

10.根据权利要求8或9所述的层叠体,其中,

通过对所述感光层进行曝光,并使用包含有机溶剂的显影液进行显影,而在感光层上形成有图案。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的层叠体,其中,

所述感光层包含光产酸剂和感光性树脂。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的层叠体,其中,

所述部件为有机半导体层。

13.一种水溶性树脂组合物,其用于形成权利要求1至12中任一项所述的层叠体所具有的水溶性树脂层,所述水溶性树脂组合物包含含有乙炔基的表面活性剂、水溶性树脂及水系溶剂。

14.根据权利要求13所述的水溶性树脂组合物,其中,

由所述水溶性树脂组合物形成的水溶性树脂层在浸渍于25℃的水中时以0.1μm/秒~3.0μm/秒的速度进行溶解。

15.一种试剂盒,其为用于制作层叠体的树脂组合物的试剂盒,所述层叠体依次具有部件、水溶性树脂层及感光层,所述试剂盒包含权利要求13或14所述的水溶性树脂组合物和感光性树脂组合物。

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