[发明专利]石平台的温度调整装置以及具备其的检査装置在审
申请号: | 201980016331.5 | 申请日: | 2019-04-01 |
公开(公告)号: | CN111868510A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 米泽良 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华;洪秀川 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平台 温度 调整 装置 以及 具备 | ||
1.一种石平台的温度调整装置,其与设置地板面之间空出间隙地配置,其具备:
下表面调温面板,其以与所述石平台的下表面对置的方式配置在所述设置地板面上;以及
温度控制部,其对所述下表面调温面板的温度进行控制,
所述下表面调温面板具备:
隔热面板,其配置在所述设置地板面上;以及
热辐射面板,其配置在所述隔热面板上,设置有温度调整部并通过该温度调整部进行供热或吸热,
所述温度控制部对所述热辐射面板的温度进行控制,以使得所述石平台的上表面与所述热辐射面板的表面的温度差成为设定值。
2.根据权利要求1所述的石平台的温度调整装置,其中,
将所述设置地板面的设置所述石平台的占有区域沿着所述石平台的长度方向分割成多个分割区域,所述下表面调温面板配置在每个分割区域。
3.根据权利要求1或2所述的石平台的温度调整装置,其中,
在所述下表面调温面板设置有面板侧温度传感器,
在与所述面板侧温度传感器对应的石平台的上表面设置有与该面板侧温度传感器成对的上表面侧温度传感器,
所述温度控制部基于成对的所述面板侧温度传感器和在上下方向上对应的所述上表面侧温度传感器的温度检测值,对各个所述下表面调温面板的所述温度调整部的温度进行控制。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,
由所述下表面调温面板和所述石平台的下表面夹着的间隙的周围被划分壁包围。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,
所述隔热面板由独立发泡结构的树脂片构成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,
所述热辐射面板由金属板构成。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,
所述温度调整部是使制冷剂流通的温度调整管。
8.根据权利要求7所述的石平台的温度调整装置,其中,
所述温度调整管具有相互并行的一对制冷剂流路,
设定为制冷剂在所述一对制冷剂流路的各个制冷剂流路中相互向相反方向流动。
9.根据权利要求7或8所述的石平台的温度调整装置,其中,
所述石平台的温度调整装置具备:
罐,其向所述温度调整管供给被调整为比由所述下表面调温面板加热的所述石平台的温度低的基准温度的制冷剂;以及
热交换器,其利用比所述基准温度低的温度的冷却水对通过了所述温度调整管的返回的制冷剂进行冷却,以使通过了所述温度调整管的返回的制冷剂降低至该基准温度,
将由所述热交换器冷却后的制冷剂向所述罐供给。
10.一种检査装置,其具备:
权利要求1至9中任一项所述的石平台的温度调整装置;
与所述设置地板面之间空出间隙地配置并载置被检査面板的所述石平台;以及
相对于所述被检査面板相对地移动,拍摄所述被检査面板的面板面的状态的检査相机。
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