[发明专利]石平台的温度调整装置以及具备其的检査装置在审

专利信息
申请号: 201980016331.5 申请日: 2019-04-01
公开(公告)号: CN111868510A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 米泽良 申请(专利权)人: 株式会社V技术
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华;洪秀川
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 平台 温度 调整 装置 以及 具备
【权利要求书】:

1.一种石平台的温度调整装置,其与设置地板面之间空出间隙地配置,其具备:

下表面调温面板,其以与所述石平台的下表面对置的方式配置在所述设置地板面上;以及

温度控制部,其对所述下表面调温面板的温度进行控制,

所述下表面调温面板具备:

隔热面板,其配置在所述设置地板面上;以及

热辐射面板,其配置在所述隔热面板上,设置有温度调整部并通过该温度调整部进行供热或吸热,

所述温度控制部对所述热辐射面板的温度进行控制,以使得所述石平台的上表面与所述热辐射面板的表面的温度差成为设定值。

2.根据权利要求1所述的石平台的温度调整装置,其中,

将所述设置地板面的设置所述石平台的占有区域沿着所述石平台的长度方向分割成多个分割区域,所述下表面调温面板配置在每个分割区域。

3.根据权利要求1或2所述的石平台的温度调整装置,其中,

在所述下表面调温面板设置有面板侧温度传感器,

在与所述面板侧温度传感器对应的石平台的上表面设置有与该面板侧温度传感器成对的上表面侧温度传感器,

所述温度控制部基于成对的所述面板侧温度传感器和在上下方向上对应的所述上表面侧温度传感器的温度检测值,对各个所述下表面调温面板的所述温度调整部的温度进行控制。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,

由所述下表面调温面板和所述石平台的下表面夹着的间隙的周围被划分壁包围。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,

所述隔热面板由独立发泡结构的树脂片构成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,

所述热辐射面板由金属板构成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的石平台的温度调整装置,其中,

所述温度调整部是使制冷剂流通的温度调整管。

8.根据权利要求7所述的石平台的温度调整装置,其中,

所述温度调整管具有相互并行的一对制冷剂流路,

设定为制冷剂在所述一对制冷剂流路的各个制冷剂流路中相互向相反方向流动。

9.根据权利要求7或8所述的石平台的温度调整装置,其中,

所述石平台的温度调整装置具备:

罐,其向所述温度调整管供给被调整为比由所述下表面调温面板加热的所述石平台的温度低的基准温度的制冷剂;以及

热交换器,其利用比所述基准温度低的温度的冷却水对通过了所述温度调整管的返回的制冷剂进行冷却,以使通过了所述温度调整管的返回的制冷剂降低至该基准温度,

将由所述热交换器冷却后的制冷剂向所述罐供给。

10.一种检査装置,其具备:

权利要求1至9中任一项所述的石平台的温度调整装置;

与所述设置地板面之间空出间隙地配置并载置被检査面板的所述石平台;以及

相对于所述被检査面板相对地移动,拍摄所述被检査面板的面板面的状态的检査相机。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社V技术,未经株式会社V技术许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980016331.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code