[发明专利]粉末冶金溅射靶和其生产方法

权利要求书

1.形成粉末冶金制品的方法，包括：

通过粉末冶金技术将包括球形金属粉末的金属粉末固结为固结体以形成冶金制品；和

任选地热处理所述固结体；其中所述球形金属粉末包含

a.球形形状，其中所述粉末具有1.0-1.4的平均纵横比；

b.基于所述金属粉末的不包括气体杂质在内的总重量，至少99重量％金属的金属纯度；

c.约0.5微米-约250微米的平均颗粒尺寸；

d.约4g/cc-约19.3g/cc的表观密度；

e.与所述金属相差不超过±3％的真密度；和

f.40秒或更少的霍尔流速。

2.如权利要求1所述的方法，其中使用所述热处理。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述热处理为一个或多个烧结步骤或者一个或多个退火步骤。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述固结产品为溅射靶。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括机加工所述固结产品。

6.如权利要求1所述的方法，进一步包括使所述固结产品经历一个或多个机械或热机械加工步骤。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述方法在不存在任何机械或热机械加工步骤的情况下进行。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末具有小于350ppm的氧水平。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末具有小于200ppm的氧水平。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述平均纵横比为1.0-1.25。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述平均纵横比为1.0-1.1。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述纯度为至少99.995重量％金属。

13.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约0.5微米-约10微米。

14.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约5微米-约25微米。

15.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约15微米-约45微米。

16.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约35微米-约75微米。

17.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约55微米-约150微米。

18.如权利要求1所述的方法，其中所述平均颗粒尺寸为约105微米-约250微米。

19.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末具有以下性质的至少一种：

a.约5微米-25微米的D10尺寸；或

b.约20微米-80微米的D90尺寸。

20.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末选自钽、铌、铝、铜、钛、镁、钨、金、银、钴、锆、硅、铼、钼、或其合金、或者其任意组合。

21.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末包含或选自BBC金属。

22.如权利要求1所述的方法，其中所述金属粉末进一步包含非球形金属粉末。