[发明专利]气体传感器以及用于运行气体传感器的方法

权利要求书

1.一种气体传感器(100)，所述气体传感器包括：

膜片(110)；

加热元件(120)，所述加热元件在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的第一中断区域(160)与所述膜片(110)的第二中断区域(170)之间，

其中所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)具有所述膜片(110)的至少一个中断部(162，162₁，162_i)，并且其中所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)具有所述膜片(110)的至少一个中断部(172，172₁，172_i)，

第一温度传感器结构(130)，所述第一温度传感器结构至少部分地在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的与所述加热元件(120)相反的一侧上；以及

第二温度传感器结构(140)，所述第二温度传感器结构至少部分地在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的与所述加热元件(120)相反的一侧上。

2.根据权利要求1所述的气体传感器(100)，

其中所述膜片(110)通过由载体材料构成的框架(150)展开，所述载体材料设计成，使得所述膜片(110)的温度膨胀系数与所述载体材料的温度膨胀系数不同。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，

其中所述第一温度传感器结构(130)是第一热电偶结构，所述第一热电偶结构的热端部在所述膜片上设置在所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的与所述加热元件(120)相反的一侧上；

其中所述第二温度传感器结构(140)是第二热电偶结构，所述第二热电偶结构的热端部在所述膜片上设置在所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的与所述加热元件(120)相反的一侧上。

4.根据权利要求2和3所述的气体传感器(100)，

其中所述第一热电偶结构(130)的冷端部(134)和所述第二热电偶结构(140)的冷端部(144)设置在所述载体材料上。

5.根据权利要求3或4所述的气体传感器(100)，

其中所述第一热电偶结构(130)的热端部(132)伸展直至所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的边缘，并且所述第二热电偶结构(140)的热端部(142)伸展直至所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的边缘。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体传感器(100)，

其中所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)具有连续的中断部(162)，所述中断部的纵向扩展(164)大至，使得所述中断部完全覆盖所述第一温度传感器结构(130)与所述加热元件(120)之间的区域，并且其中所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)具有连续的中断部(172)，所述中断部的纵向扩展(174)大至，使得所述中断部完全覆盖所述第二温度传感器结构(140)与所述加热元件(120)之间的区域。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的气体传感器(100)，

其中所述第一中断部区域(160)的中断部(162，162₁，162_i)的横向扩展(166)与所述第二中断区域(170)的中断部(172，172₁，172_i)的横向扩展(176)不同。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的气体传感器(100)，

其中所述第一温度传感器结构(130)距所述加热元件(120)的间距(180₁，180₂)与所述第二温度传感器结构(140)不同。