[发明专利]真空泵及真空泵用风门

权利要求书

1.一种真空泵，前述真空泵将真空腔内抽真空，其特征在于，

具备第1凸缘及第2凸缘、中间环、O型圈、多个弹性体、气密保持机构，

前述第1凸缘及第2凸缘分别具有中央开口的形状，被互相相向地配置，呈环状，

前述中间环与前述第1凸缘的开口部及前述第2凸缘的开口部对应地具有中央开口的形状，配置于前述第1凸缘与前述第2凸缘之间，

前述O型圈分别配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，

前述多个弹性体分别在周向上散布地配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，

前述气密保持机构具有定位部件，前述定位部件被将分别设置于前述第1凸缘、前述中间环、前述第2凸缘的定位孔内按顺序地穿过地配置，

在前述真空腔被抽真空时，前述O型圈及前述弹性体被压缩，前述第1凸缘与前述第2凸缘的间隔缩小，前述定位部件与前述第1凸缘或前述第2凸缘的一方呈非接触状态。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述弹性体为大致圆柱体或棱柱体。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述O型圈由将由硅橡胶形成的芯材的外周面用氟橡胶覆盖而成的复合件形成。

4.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

在分别配置有前述O型圈及前述弹性体的前述第1凸缘及前述第2凸缘的各部位，设置有将对应的前述O型圈及前述弹性体分别定位的凹处。

5.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

将设置于前述第1凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处和将设置于前述第2凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处中的，一方的前述定位凹处将前述O型圈以与径向的弹簧常数相比轴向的弹簧常数变低的方式定位，另一方的前述定位凹处将前述O型圈以与前述轴向的弹簧常数相比前述径向的弹簧常数变低的方式定位。

6.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述第1凸缘或前述第2凸缘具有装配固定于前述真空腔的固定用螺纹件的安装孔，

与前述安装孔相向的前述中间环在与前述安装孔对应的部位具有在前述固定用螺纹件的安装时放出前述固定用螺纹件的头部的切口部。

7.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述第1凸缘还具备环状部和凸缘部，

前述环状部具有被覆盖前述中间环的外周面地配置的内周面，

前述凸缘部从前述环状部的一端面向外侧延伸而配设前述弹性体和前述定位部件。

8.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

在前述第1凸缘的一部分，设置有环状部，前述环状部具有内周面，前述内周面被配置成，覆盖在前述第1凸缘的轴向上层叠地配置多张的前述中间环的外周面，

在前述中间环的前述外周面与前述环状部的前述内周面之间配设有第2O型圈。

9.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

在被在前述第1凸缘的轴向上层叠地配置多张的前述中间环中的、上侧的前述中间环的一部分，设置有环状部，前述环状部具有内周面，前述内周面被配置成，覆盖配置于该中间环的下侧的前述中间环的外周面，

在配置于前述下侧的中间环的前述外周面与前述环状部的前述内周面之间配设有第2O型圈。

10.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，

在前述环状部的前述内周面，将向前述第2O型圈突出的突起在前述内周面的周向上散布地设置多个。

11.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

在前述中间环的外周面，具备使前述外周面的一部分沿外周方向突出的凸边状部，

使前述弹性体与前述凸边状部的外周面抵接地配置。

12.一种真空泵用风门，将真空腔与将前述真空腔内抽真空的真空泵之间气密地保持，其特征在于，

具备第1凸缘及第2凸缘、中间环、O型圈、多个弹性体、气密保持机构，

前述第1凸缘及第2凸缘分别具有中央开口的形状，被互相相向地配置，呈环状，

前述中间环与前述第1凸缘的开口部及前述第2凸缘的开口部对应地具有中央开口的形状，配置于前述第1凸缘与前述第2凸缘之间，

前述O型圈分别配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，

前述多个弹性体分别在周向上散布地配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，

前述气密保持机构具有定位部件，前述定位部件被将分别设置于前述第1凸缘、前述中间环、前述第2凸缘的定位孔内按顺序地穿过地配置，

在前述真空腔被抽真空时，前述O型圈及前述弹性体被压缩，前述第1凸缘与前述第2凸缘的间隔缩小，前述定位部件与前述第1凸缘或前述第2凸缘的一方呈非接触状态。