[发明专利]光纤模块及其制造方法

说明书

一种光模块，其将向离开形成有光回路的基板的一面的方向突出的线状的光波导的端部和由保持体保持的光纤的端部光学连接，能够高精度且简便地保持基板的一面和保持体的一面的距离，而不会使光波导的端部破损。光模块具备基板(1)、保持体(15)和间隔件(13)。基板(1)上形成有光波导(3)，其端部(3a、3b)从基板(1)的一面(1a)突出。保持体(15)保持光纤(7)，并且使光纤(7)的一个端部在基板(1)的一面(15a)侧以能够与光波导(3)的端部(3a、3b)光学连接的方式露出。间隔件(13)由基板(1)的一面(1a)和保持体(15)的一面(15a)夹持。

技术领域

本发明涉及一种光纤模块及其制造方法。

背景技术

近年来，由在芯部使用硅材料、在包层部使用石英类材料的硅细线光波导构成的光回路的研究开发正在活跃地进行。硅细线光波导具有大的相对折射率差，即使减小光波导的曲率半径，放射损耗也小，因此能够使光回路小型化。

另外，如上所述的技术可以与硅CMOS LSI的制造工艺共用，基于公知技术，期待批量生产带来的制造成本的降低效果。

通常，以硅细线光波导为主要构成部的基板与光纤、光源、受光器等其他光器件的光的输入输出从与基板的光回路的形成面平行的方向经由光波导的剖面进行。

但是，如果能够从与上述不同的方向、特别是相对于光回路的形成面垂直的方向连接光纤，则就能够在晶片制造阶段进行硅细线光波导器件的检查。另外，在能够从相对于光回路的形成面垂直的方向安装光源、受光器等方面，具有技术上的许多优点。

作为使光在与光回路的形成面交叉的方向上相对于以硅细线光波导为主要构成部的光回路耦合的方法，在下述专利文献1中公开了使硅细线光波导的端部及与其相邻的部位向离开光回路基板的表面的方向弯曲的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2013-178333号

发明内容

发明要解决的问题

在上述那样的具有硅细线光波导的基板中，在对从基板的一面突出的硅细线光波导的端部和被保持体保持的光纤的端部进行光学调芯而固定基板和保持体时，会有硅细线光波导的端部和保持体的一面接触，从而硅细线光波导的端部破损的危险。

另外，若为了避免硅细线光波导的端部的破损而使两者的距离过大，则存在硅细线光波导和光纤的光耦合效率降低的问题。

本发明的目的在于，在将从形成有光回路的基板的一面突出的线状的光波导的端部和由保持体保持的光纤的端部光学连接的光模块中，能够精度良好且简便地保持基板的一面和保持体的一面的距离，而不会使光波导的端部破损。

用于解决问题的技术手段

根据本发明的一个方面，提供了一种光纤模块，其特征在于，具备：

光回路形成体，其具有第一表面，形成有光波导并且所述光波导的端部从所述第一表面突出；

保持体，其具有与所述第一表面相对的第二表面，对光纤进行保持并且使所述光纤的一个端部在所述第二表面侧以能够与所述光波导的所述端部光学连接的方式露出；以及

间隔件，其由所述第一表面和所述第二表面夹持。

由于光回路形成体的第一表面和保持体的第二表面以具有规定间隔的状态被间隔件支承，所以能够抑制保持体的第二表面使光纤的端部破损的情况。

优选地，所述间隔件沿所述第一表面的法线方向的直径或高度与所述光波导的所述端部自所述第一表面沿所述法线方向的突出长度实质上相同或比所述突出长度大。