[发明专利]超快激光制造方法及系统

权利要求书

1.一种激光制造系统，包括：

激光源，配置为输出激光束；

数字微镜器件，配置为接收所述激光束并用扫描二元全息图对所述激光束进行整形，其中所述数字微镜器件用作利用所述扫描二元全息图编码的可编程二进制掩模，且多于一个的二元全息图被合成以形成应用于所述数字微镜器件的所述扫描二元全息图；其中离开所述数字微镜器件的经整形的所述激光束聚焦到光刻胶上，以通过单个或多个成形的激光点实现并行制造；以及

空间滤波器，配置为空间地选择从所述扫描二元全息图衍射的第-1级或第+1级的非零级光束，其中所选择的所述非零级光束聚焦到所述光刻胶上。

2.根据权利要求1所述的激光制造系统，其中，所述数字微镜器件使所述激光束产生负角分散；以及所述系统还包括：

分散补偿单元，配置为以正角分散的方式将所述激光束从所述激光源传递到所述数字微镜器件，以中和所述负角分散。

3.根据权利要求1所述的激光制造系统，其中，所述扫描二元全息图中进一步包括用于波前校正的波前信息。

4.根据权利要求1所述的激光制造系统，其中，来自所述激光源的所述激光束被扩展以匹配所述数字微镜器件的孔径。

5.根据权利要求1所述的激光制造系统，还包括：

物镜，所述物镜通过一组中继光学器件被配置为聚焦经整形的所述激光束。

6.根据权利要求5所述的激光制造系统，其中，所述一组中继光学器件是包括两个透镜的4-f系统。

7.根据权利要求5所述的激光制造系统，其中，在所述一组中继光学器件的后焦平面处设置有所述空间滤波器，以空间地选择从所述扫描二元全息图衍射的所述非零级光束。

8.根据权利要求2所述的激光制造系统，其中，所述分散补偿单元包括透射式闪耀光栅和反射镜。

9.根据权利要求1所述的激光制造系统，还包括：

显微成像系统，配置为监视通过经整形的所述激光束执行的制造过程。

10.根据权利要求1所述的激光制造系统，还包括：

定位台，配置为将样本安装和操纵到将被激光处理的位置。

11.一种用于激光制造的方法，包括：

从激光源输出激光束；

利用扫描二元全息图通过数字微镜器件对所述激光束进行整形，所述数字微镜器件用作利用所述扫描二元全息图编码的可编程二进制掩模，所述扫描二元全息图由一个以上的二元全息图合成；

将经整形的激光束聚焦到光敏树脂上，以利用单个或多个成形激光点实现并行制造；以及

空间地选择从所述扫描二元全息图衍射的第-1级或第+1级的非零级光束，其中所选择的所述非零级光束聚焦到所述光敏树脂上。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括：

中和由所述数字微镜器件引入到所述激光束中的角分散。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述扫描二元全息图包括用于波前校正的波前调制信息。