[发明专利]研磨用组合物有效
| 申请号： | 201980019008.3 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN111868201B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 今宏树 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨用组合物，其为用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物，
其包含：氧化铝磨粒和分散介质，
所述氧化铝磨粒仅包含α化率为80％以上的α-氧化铝A和α化率低于80％的α-氧化铝B作为结晶性氧化铝，所述α-氧化铝A的平均粒径小于所述α-氧化铝B的平均粒径。
2.根据权利要求1所述的研磨用组合物，其中，所述α-氧化铝A与所述α-氧化铝B的含有质量比为5/95以上且95/5以下。
3.根据权利要求1或2所述的研磨用组合物，其还包含氧化剂。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨用组合物，其pH为7以上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨用组合物，其中，所述研磨对象物包含硬脆材料。
6.根据权利要求5所述的研磨用组合物，其中，所述硬脆材料包含碳化硅。
7.一种研磨用组合物的制造方法，其包括如下步骤：将α化率为80％以上的α-氧化铝A与α化率低于80％的α-氧化铝B在分散介质中进行混合，
所述α-氧化铝A的平均粒径小于所述α-氧化铝B的平均粒径。
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