[发明专利]检测装置以及检测方法

权利要求书

1.一种检测装置，具备：

旋风分离器式捕集部，其使用回旋气流将气体所含有的粒子捕集到捕集液中；

检测部，其对通过所述旋风分离器式捕集部捕集到的所述粒子进行检测；以及

清洗部，其使用清洗液对所述旋风分离器式捕集部进行清洗，

所述清洗部通过产生于所述旋风分离器式捕集部的所述回旋气流使所述清洗液回旋来进行所述旋风分离器式捕集部的清洗。

2.根据权利要求1所述的检测装置，

所述旋风分离器式捕集部具备旋风分离器，所述旋风分离器具有导入所述气体的气体导入口和排出所述气体的气体排出口，并容纳所述捕集液，

所述检测装置还具备吸引器，所述吸引器连接于所述气体排出口，将所述气体从所述气体导入口导入到所述旋风分离器内，使所述气体作为所述回旋气流从所述气体导入口向所述气体排出口流通，使所述气体从所述气体排出口排出，

所述清洗部，

具备用于向所述旋风分离器内导入所述清洗液的清洗液导入部，

一边通过所述吸引器使所述气体从所述气体排出口排出一边通过所述清洗液导入部向所述旋风分离器内导入所述清洗液，由此使所述清洗液回旋来进行所述旋风分离器内的清洗。

3.根据权利要求2所述的检测装置，

所述检测装置还具备用于将所述旋风分离器内的所述捕集液排出的液体排出部，

所述旋风分离器还具有将所述旋风分离器内的所述捕集液排出的液体排出口，

所述清洗部，

一边通过所述吸引器使所述气体从所述气体排出口排出一边通过所述清洗液导入部从所述清洗液导入部向所述旋风分离器导入所述清洗液、并且通过所述液体排出部使所述清洗液从所述液体排出口排出，由此进行清洗。

4.根据权利要求3所述的检测装置，

所述旋风分离器还具有导入所述清洗液的1个以上的清洗液导入口，

所述液体排出口位于所述旋风分离器的底部，

所述清洗液导入口位于所述旋风分离器的上部，

所述清洗液导入口与所述旋风分离器的底部的距离，为所述气体导入口与所述旋风分离器的底部的距离以上。

5.根据权利要求4所述的检测装置，

所述旋风分离器具有多个所述清洗液导入口，

在俯视所述旋风分离器的情况下，所述多个清洗液导入口沿着所述旋风分离器的周向配置为等间隔。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的检测装置，

所述清洗部使所述回旋气流的速度变化来进行清洗。

7.根据权利要求6所述的检测装置，

所述清洗部通过反复进行下述控制来进行所述旋风分离器式捕集部的清洗，该控制为：使所述回旋气流的速度从第1速度向比所述第1速度快的第2速度变化、进一步使所述回旋气流的速度从所述第2速度变化为所述第1速度的控制。

8.一种检测方法，包括：

使用回旋气流将气体所含有的粒子捕集到捕集液中；

对被捕集到所述捕集液中的所述粒子进行检测；以及

使用所述回旋气流使清洗液回旋来进行旋风分离器式捕集部的清洗。