[发明专利]具有集成的隧道结的垂直腔面发射激光器装置

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器装置(100)，所述垂直腔面发射激光器装置(100)包括基体(110)、第一电接触体(105)、第二电接触体(150)和光学谐振器，其中，光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、第二分布式布拉格反射器(125)以及用于光发射的有源层(120)，其中，有源层(120)布置在第一分布式布拉格反射器(115)与第二分布式布拉格反射器(125)之间，第一分布式布拉格反射器(115)布置在基体(110)与有源层(120)之间，其中，第一分布式布拉格反射器(115)或第二分布式布拉格反射器(125)包括具有至少一对具有不同折射率的层的第一部分(115-1、125-1)和具有至少一对具有不同折射率的层的第二部分(115-2、125-2)，其中，第一部分(115-1、125-1)和第二部分(115-2、125-2)的特征在于具有不同的导电类型，其中，隧道结(130)布置在第一部分(115-1、125-1)与第二部分(115-2、125-2)之间，其中，第一电接触体(105)和第二电接触体(150)被布置为能够电泵浦光学谐振器，使得隧道结(130)在垂直腔面发射激光器装置(100)的操作期间被反向偏置，其中，所述垂直腔面发射激光器装置(100)具有以下选项中的任一项：

a)第一分布式布拉格反射器包括第一部分(115-1)和第二部分(115-2)，其中，第二部分(115-2)相对于第一分布式布拉格反射器的第一部分和第二部分(115-1、115-2)的总厚度的相对厚度在0.1-0.8之间；

b)第二分布式布拉格反射器包括第一部分(125-1)和第二部分(125-2)，第二部分布置在隧道结(130)的背离有源层(120)的一侧上，其中，第二部分(125-2)相对于第二分布式布拉格反射器的第一部分和第二部分(125-1、125-2)的总厚度的相对厚度在0.15-0.6之间。

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，其中，第一部分(115-1、125-1)布置在隧道结(130)的面对有源层(120)的一侧上，其中，第二部分(115-2、125-2)布置在隧道结(130)的背离有源层(120)的一侧上，其中，第二部分(115-2、125-2)相对于相应的第一分布式布拉格反射器或第二分布式布拉格反射器(115、125)的第一部分和第二部分(115-1、125-1、115-2、125-2)的总厚度的相对厚度在0.1和0.8之间。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，其中，隧道结(130)布置在垂直腔面发射激光器装置(100)的操作期间光学谐振器内的驻波图案的节点中。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，其中，垂直腔面发射激光器装置(100)包括电流限制层(124)，其中，第一部分(115-1、125-1)布置在电流限制层(124)与隧道结(130)之间。

5.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，对于选项b)，其中，第二部分(125-2)相对于第二分布式布拉格反射器的第一部分和第二部分(125-1、125-2)的总厚度的相对厚度为0.2-0.5。

6.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，对于选项b)，其中，基体(110)的特征在于是第一导电类型的，其中，第一分布式布拉格反射器(115)的特征在于是第一导电类型的，其中，第二分布式布拉格反射器的第一部分(125-1)的特征在于是第二导电类型的，其中，第二分布式布拉格反射器的第二部分(125-2)的特征在于是第一导电类型的。

7.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器装置(100)，对于选项a)，其中，第一分布式布拉格反射器的第二部分(115-2)相对于第一分布式布拉格反射器的第一部分和第二部分(115-1、115-2)的总厚度的相对厚度在0.2-0.6之间。