[发明专利]等离子体控制系统以及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种等离子体控制系统，包括：

高频电源；

第一天线，一端部与所述高频电源连接；

第二天线，一端部与所述第一天线的另一端部连接；

第一电抗可变元件，设置于所述第一天线与所述第二天线之间，电抗通过可动部件移动而改变；

第一驱动部，使所述第一电抗可变元件的所述可动部件移动；

第二电抗可变元件，与所述第二天线的另一端部连接，电抗通过可动部件移动而改变；

第二驱动部，使所述第二电抗可变元件的所述可动部件移动；

第一电流检测部，检测流入所述第一天线的一端部中的电流；

第二电流检测部，检测在所述第一天线与所述第二天线之间流动的电流；

第三电流检测部，检测流入所述第二天线的另一端部中的电流；以及

控制装置，输出用于以由所述第一电流检测部所获得的第一电流值、由所述第二电流检测部所获得的第二电流值、及由所述第三电流检测部所获得的第三电流值相互变成相等的方式，分别控制所述第一驱动部及所述第二驱动部的控制信号。

2.根据权利要求1所述的等离子体控制系统，其中所述控制装置包括：

第一比较部，对所述第一电流值与所述第二电流值进行比较；

第二比较部，对所述第二电流值与所述第三电流值进行比较；以及

控制部，根据所述第一比较部的比较结果，输出用于以所述第一电流值与所述第二电流值变成相等的方式控制所述第一驱动部的控制信号，并且根据所述第二比较部的比较结果，输出用于以所述第二电流值与所述第三电流值变成相等的方式控制所述第二驱动部的控制信号。

3.根据权利要求1所述的等离子体控制系统，其中所述控制装置包括：

模式数据存储部，存储已将表示所述第一电流值、所述第二电流值，及所述第三电流值的大小关系的多种基准电流值模式与对应于各个基准电流值模式而事先决定，用于以所述各电流值相互变成相等的方式控制所述第一驱动部及所述第二驱动部的控制模式结合的模式数据；

实际电流值模式判断部，判断作为所述第一电流值、所述第二电流值，及所述第三电流值的实际的大小关系的实际电流值模式；以及

控制部，判断与所述实际电流值模式对应的所述基准电流值模式，并且根据已与所述基准电流值模式结合的所述控制模式，输出用于分别控制所述第一驱动部及所述第二驱动部的控制信号。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子体控制系统，其中所述控制装置以如下方式构成：

在所述第一电流值与所述第二电流值互不相同的情况下，输出用于以使所述第一电流值接近所述第二电流值的方式控制所述第一驱动部的控制信号，

在所述第二电流值及所述第三电流值互不相同的情况下，输出用于以使所述第三电流值接近所述第二电流值的方式控制所述第二驱动部的控制信号。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子体控制系统，其中所述第一电抗可变元件是可变电容器，其具有：

第一固定电极，与所述第一天线电性连接；

第二固定电极，与所述第二天线电性连接；以及

作为所述可动部件的可动电极，与所述第一固定电极之间形成第一电容器，并且与所述第二固定电极之间形成第二电容器；且

以通过所述可动电极环绕规定的旋转轴进行旋转，而可变更其静电电容的方式构成，

所述控制装置包括在所述可动电极的旋转角度已变成规定的阈值的情况下，使所述可动电极的旋转停止的控制停止部。