[发明专利]取向性电磁钢板的制造方法及连续成膜装置

说明书

提供一种能得到磁特性优异的取向性电磁钢板的取向性电磁钢板的制造方法。上述取向性电磁钢板的制造方法对不具有镁橄榄石覆膜的取向性电磁钢板的表面实施成膜处理，其中，对于上述不具有镁橄榄石覆膜的取向性电磁钢板赋予张力并实施上述成膜处理。

技术领域

本发明涉及取向性电磁钢板的制造方法及连续成膜装置。

背景技术

取向性电磁钢板是作为变压器及发电机等的铁心材料使用的软磁性材料。取向性电磁钢板的特征在于，具有铁的磁化容易轴即001方位沿钢板的轧制方向高度地一致的结晶组织。这样的集合组织在取向性电磁钢板的制造工序中，通过使称为所谓Goss方位的{110}001方位的结晶粒优先巨大生长的精退火来形成。

作为取向性电磁钢板的产品的磁特性，要求磁通密度高且铁损低。特别是近年来，从节能化的观点出发而要求低铁损的材料。

作为实现低铁损化的方法，存在提高{110}001方位的向轧制方向的集聚度的“高取向化”，使表面为镜面状的“表面平滑化”，基于局部应变或向钢板表面的加工的“磁畴细分化”，提高电阻的“高Si化”，抑制涡电流的“薄化”，对于钢板赋予向轧制方向的拉伸应力的“覆膜的高张力化”等技术。

这些技术分别被进行了较多的研究，分别已经达到非常高的水平。

在此，“覆膜的高张力化”是利用钢板与其覆膜的机械性的物性的差异，通过覆膜形成钢板沿轧制方向承受了拉伸应力的状态的技术。

在大多数的情况下，将热膨胀率与钢板不同的覆膜在高温下形成，并冷却至室温。此时，钢板伴随着冷却而收缩，相对于此，覆膜的形状几乎未变化，由此能够向钢板施加拉伸应力。

因此，通常，热膨胀率与钢板相差较大的覆膜能够向钢板施加大的张力。

通过将这样的高张力覆膜形成于不具有镁橄榄石覆膜的进行了表面平滑化的钢板，能进一步提高铁损改善的效果。

另一方面，热膨胀率的差异也受到钢板与覆膜的耐剥离特性(紧贴性)的影响。

通常，在取向性电磁钢板中，在钢板与在其上成膜的镁橄榄石覆膜的界面形成凹凸，通过其锚定效应来确保覆膜的耐剥离特性(紧贴性)。

然而，如果在不具有镁橄榄石覆膜的表面平滑的钢板上形成热膨胀率不同的覆膜，则基于形状的支撑消失，在成膜后的冷却等时，存在覆膜剥离的情况。

因此，以往，研讨了形成耐剥离性高的覆膜的方法。例如，可列举将TiN、TiC、Ti(CN)等的陶瓷覆膜通过物理手段成膜的PVD(Physical Vapor Deposition：物理气相沉积)法、基于化学手段的成膜的CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)法等成膜法。

这些成膜法是由于通常需要减压条件的情况、需要将反应气体对于钢板均匀地供给的情况等而难以连续进行的方法。因此，在使用这些成膜法的情况下，多以批式成膜。然而，在批式的成膜中，成膜成本升高或生产性差。

因此，以往，提出了利用这些成膜法连续地成膜用的连续成膜装置(例如，专利文献1～2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭62-040368号公报

专利文献2：日本特开2005-089810号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明者们关于专利文献1～2记载的连续成膜装置进行了研讨，其结果是可知，得到的取向性电磁钢板的磁特性有时不充分。