[发明专利]流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制装置，具有：

基体，在该基体的表面设有气体的流入口和流出口，且在该基体的内部设有将所述流入口和所述流出口之间连通的流路；

流量传感器，其测量流向所述流路的所述气体的流量；及

至少两个流量控制阀，它们控制流向所述流路的所述气体的流量，其中，

所述流路具有：

流入路，其是与所述流入口相连通的空间；

分支部，其是与所述流入路相连通且是使所述气体的流动分支的空间；

支流路，其是并联地与所述分支部相连通的至少两个空间；

汇合部，其是与所述支流路相连通且是使所述气体的流动汇合的空间；及

流出路，其是将所述汇合部和所述流出口之间连通的空间，

所述流量传感器构成为检测流向所述流路的所述气体的总流量，

分别在各所述支流路安装有至少一个所述流量控制阀。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其中，

所述流量控制阀具有：

阀体；

阀座，其由筒状构件构成，且其座面形成在所述筒状构件的靠所述阀体侧的端面，该座面是供所述阀体落座的具有环状形状的平面；

初级侧流路，其是位于所述筒状构件的外侧的空间；及

次级侧流路，其是位于所述筒状构件的内侧的空间。

3.根据权利要求1所述的流量控制装置，其中，

所述流量控制阀具有：

阀体；

第1阀座，其由第1筒状构件构成，且其第1座面形成在所述第1筒状构件的靠所述阀体侧的端面，该第1座面是供所述阀体落座的具有环状形状的平面；

第2阀座，其由以从外侧将所述第1筒状构件包围的方式配设的第2筒状构件构成，且其第2座面形成在所述第2筒状构件的靠所述阀体侧的端面，该第2座面是供所述阀体落座的具有环状形状的平面；

初级侧流路，其是位于所述第1筒状构件与所述第2筒状构件之间的空间；

第1次级侧流路，其是位于所述第1筒状构件的内侧的空间；及

第2次级侧流路，其是位于所述第2筒状构件的外侧的空间。

4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其中，

该流量控制装置具有与所述第2次级侧流路直接相连通的至少两条流出路径，

该流量控制装置构成为：使所述气体从所述第2次级侧流路经由所述流出路径向所述支流路流出。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的流量控制装置，其中，

所述阀体为膜片。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的流量控制装置，其中，

该流量控制装置还具有加热装置，该加热装置构成为对所述流路的至少一部分进行加热。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的流量控制装置，其中，

该流量控制装置构成为：至少两个所述流量控制阀中的至少两个所述流量控制阀由一个共通的驱动机构驱动来变更阀开度。