[发明专利]半导体发光元件有效
申请号: | 201980020756.3 | 申请日: | 2019-01-28 |
公开(公告)号: | CN111937261B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 高山彻;吉田真治;高桥邦方 | 申请(专利权)人: | 新唐科技日本株式会社 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 齐秀凤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 发光 元件 | ||
1.一种半导体发光元件,
所述半导体发光元件具备:
GaN衬底;
被配置在所述GaN衬底的上方的第1半导体层,该第1半导体层包括第1导电型的氮化物系半导体;
被配置在所述第1半导体层的上方的活性层,该活性层包括含有Ga或In的氮化物系半导体;
被配置在所述活性层的上方的电子阻挡层,该电子阻挡层包括至少含有Al的氮化物系半导体;以及
被配置在所述电子阻挡层的上方的第2半导体层,该第2半导体层包括与所述第1导电型不同的第2导电型的氮化物系半导体,
在所述电子阻挡层,将与所述GaN衬底的主面垂直的层叠方向设为x轴方向,
将离所述活性层最近的所述层叠方向上的位置设为位置x=Xs,将离所述活性层最远侧的所述层叠方向上的位置设为位置x=Xe,
将所述位置x=Xs与所述位置x=Xe之间,Al组成比最大的所述层叠方向上的位置设为位置x=Xm,
满足Xs≤x≤Xe的位置x上的所述电子阻挡层的Al组成比由函数f(x)来表示,将关于所述函数f(x)的x的一阶导数设为f’(x),将关于所述函数f(x)的x的二阶导数设为f”(x),
所述电子阻挡层在关于位置x而满足Xs<x≤Xm的区域具有第1凹区域,在该第1凹区域,f”(x)>0、且f’(x)>0,
在所述第1凹区域的位置x=X1中,所述二阶导数f”(x)成为极大,
所述电子阻挡层在关于位置x而满足X1<x≤Xe的区域具有第1凸区域,在该第1凸区域,f”(x)≤0,
将经由点(Xs,f(Xs)),与所述函数f(x)在所述第1凸区域的点(Xt,f(Xt))相接的一次函数设为函数g(x)时,在满足Xs<x<Xt的位置x,所述函数f(x)、所述函数g(x)以及所述一阶导数f’(x)满足g(x)>f(x)、且f’(x)>0的关系。
2.如权利要求1所述的半导体发光元件,
在所述电子阻挡层的Al组成比发生变化的区域中,Al组成比连续地变化。
3.如权利要求1或2所述的半导体发光元件,
所述位置x=Xm被配置在所述第1凸区域。
4.如权利要求1或2所述的半导体发光元件,
所述电子阻挡层在关于位置x而满足Xs≤x<X1的区域具有第2凹区域,该第2凹区域包括f’(x)>0、且所述二阶导数f”(x)成为极大的位置。
5.如权利要求1或2所述的半导体发光元件,
所述电子阻挡层在关于位置x而满足Xs≤x<X1的区域具有第2凸区域,在该第2凸区域,f”(x)≤0。
6.如权利要求4所述的半导体发光元件,
所述电子阻挡层在关于位置x而满足Xs≤x<X1的区域具有第2凸区域,在该第2凸区域,f”(x)≤0,
所述第2凸区域被配置在所述第2凹区域与所述第1凹区域之间。
7.如权利要求1所述的半导体发光元件,
所述电子阻挡层在关于位置x而满足Xs≤x<X1的区域具有第2凸区域,在该第2凸区域,f”(x)≤0,
将与所述函数f(x)在所述第2凸区域的点(Xu,f(Xu))相接、且与所述函数f(x)在所述第1凸区域的点(Xv,f(Xv))相接的一次函数设为函数h(x)时,在满足Xu<x<Xv的位置x,所述函数f(x)、所述函数h(x)以及所述一阶导数f’(x)满足h(x)>f(x)、且f’(x)>0的关系。
8.如权利要求1或2所述的半导体发光元件,
在位置x=(Xs+Xm)/2中,f”(x)>0、且f’(x)>0。
9.如权利要求1或2所述的半导体发光元件,
所述第1凹区域的宽度为(Xm-Xs)/2以上。
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