[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有含杂环聚合物的前体、热碱产生剂及自由基聚合性化合物，

所述含杂环聚合物的前体具有自由基聚合性基团，

所述自由基聚合性化合物包括选自由具有4个以上聚合性官能团的化合物及具有3个聚合性官能团并且分子量为400以下的化合物组成的组中的至少1个自由基聚合性化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

所述聚合性官能团分别独立地为选自乙烯基苯基、乙烯基及(甲基)丙烯酰基的基团。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

所述热碱产生剂具有由式(101)或式(102)表示的阳离子，

式(101)及式(102)中，R¹～R⁶分别独立地表示氢原子或烃基，R⁹表示烃基。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含杂环聚合物的前体包括聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含杂环聚合物的前体包括聚酰亚胺前体。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含杂环聚合物的前体包含由下述式(1)表示的结构单元，

式(1)中，A¹及A²分别独立地表示氧原子或NH，R¹¹¹表示2价的有机基，R¹¹⁵表示4价的有机基，R¹¹³及R¹¹⁴分别独立地表示氢原子或1价的有机基。

7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，其中，

所述R¹¹³及所述R¹¹⁴中的至少1个包含自由基聚合性基团。

8.根据权利要求6或7所述的感光性树脂组合物，其中，

所述R¹¹⁵包含芳香环。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述R¹¹¹由-Ar⁰-L⁰-Ar⁰-表示，各Ar⁰分别独立地为包含芳香环的2价的基团，L⁰为单键、任选地被氟原子取代的碳原子数1～10的脂肪族烃基、-O-、-CO-、-S-、-SO₂-、-NHCO-及由这些基团组合2个以上而构成的基团。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述R¹¹¹为由下述式(51)或式(61)表示的基团，

式(51)中，R⁵⁰～R⁵⁷分别独立地为氢原子、氟原子或1价的有机基，R⁵⁰～R⁵⁷中的至少1个为氟原子、甲基、氟甲基、二氟甲基或三氟甲基，

式(61)中，R⁵⁸及R⁵⁹分别独立地为氟原子、氟甲基、二氟甲基或三氟甲基。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物，其含有光聚合引发剂。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

所述热碱产生剂与所述自由基聚合性化合物的质量比为1.0～80。