[发明专利]用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法

权利要求书

1.一种装置，包括：

目标材料分配器，被布置为向真空腔室中的照射部位提供目标材料束流；

可电致动元件，机械耦接到所述目标材料分配器并且被布置为基于液滴控制信号来在所述束流中引起速度扰动；

检测器，被布置为在所述束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察所述束流中的所述液滴并且生成液滴检测信号；

控制器，被布置为接收所述液滴检测信号并且至少部分基于所述液滴检测信号来生成波形生成器控制信号；以及

波形生成器，电耦合到所述可电致动元件和所述控制器，用于至少部分基于所述波形生成器控制信号来供应所述液滴控制信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述可电致动元件是压电元件。

3.一种装置，包括：

目标材料分配器，被布置为向真空腔室中的照射部位提供目标材料束流；

可电致动元件，机械耦接到所述目标材料分配器并且被布置为基于液滴控制信号来在所述束流中引起速度扰动；

检测器，被布置为在所述束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察所述束流中的所述液滴并且生成液滴检测信号，所述检测器包括照射源和光敏传感器，所述光敏传感器包括布置在所述真空腔室中的至少一个光学元件；

控制器，被布置为接收所述液滴检测信号并且至少部分基于所述液滴检测信号来生成波形生成器控制信号；以及

波形生成器，电耦合到所述可电致动元件和所述控制器，用于至少部分基于所述波形生成器控制信号来供应所述液滴控制信号。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述可电致动元件是压电元件。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括相机。

6.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括光电二极管。

7.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括：相机，所述相机布置在所述真空腔室外部；光学模块，所述光学模块布置在所述真空腔室中；以及光纤，所述光纤用于将光从所述光学模块中继到所述相机。

8.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括：光电二极管，所述光电二极管布置在所述真空腔室外部；光学模块，所述光学模块布置在所述真空腔室中；以及光纤，所述光纤用于将光从所述光学模块中继到所述光电二极管。

9.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括照射源。

10.根据权利要求3所述的装置，其中所述光敏传感器包括：照射源，所述照射源布置在所述真空腔室外部；光学模块，所述光学模块布置在所述真空腔室中；以及光纤，所述光纤用于将光从所述照射源中继到所述光学模块。

11.一种方法，包括步骤：

使用目标材料分配器向真空腔室中的照射部位提供目标材料束流，所述目标材料分配器包括可电致动元件，所述可电致动元件被布置为基于液滴控制信号在所述束流中引起速度扰动；

在所述束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察所述束流中的所述液滴并且生成液滴检测信号；

至少部分基于所述液滴检测信号来生成波形生成器控制信号；以及

至少部分基于所述波形生成器控制信号来供应所述液滴控制信号。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述可电致动元件是压电元件。