[发明专利]用于基片的选择性蒸气涂覆的装置和方法

权利要求书

1.一种用在涂覆作业中的装夹工具(1)，包括

固定有屏罩的支承结构(5)，

该屏罩具有多个保持开口(19)，每个保持开口被设计成

待处理物体能通过每个保持开口(19)被卡住，

使得每个物体的第一部分从该屏罩延伸入涂层沉积区域，

而每个物体的第二部分从该屏罩延伸入不发生涂层沉积的屏蔽区域，

其特征在于，

屏罩板(2)在中心管(6)的周向上分组，限定出共用空腔(13)，

所述屏蔽区域是共同容纳多个第二部分的所述共用空腔(13)，

所述支承结构(5)具有所述中心管(6)，所述中心管被所述屏罩包围，并与所述屏罩一起限定出呈共用空腔(13)形状的所述屏蔽区域，

所述屏罩由多个屏罩板(2)形成，紧邻的屏罩板(2)的侧凸缘在支撑杆(9)参与或没有参与的情况下，在所述屏罩板(2)就位准备用于沉积作业时，共同密封呈共用空腔(13)形状的所述屏蔽区域。

2.根据权利要求1所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述支承结构(5)包括从所述中心管(6)延伸的第一凸缘(7)和第二凸缘(8)，所述凸缘(7,8)形成用于附接所述屏罩或屏罩板(2)的底部。

3.根据权利要求2所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述凸缘(7,8)通过直接接触所述屏罩的支撑杆(9)相互联接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述屏罩板(2)是平面板。

5.根据权利要求2或3所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述凸缘(7,8)的周边形成具有用于附接所述屏罩板(2)的多个平坦底边的多边形。

6.根据权利要求1所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述屏罩包括：具有多个窗口的底部托座(26)；以及安装到所述底部托座(26)上的多个转接板(27)，用以闭合除了用于在该转接板(27)中的保持开口(19)外的所述窗口。

7.根据权利要求6所述的装夹工具(1)，其特征在于，所述转接板(27)能在不同的回转位置上被固定到所述底部托座(26)，而所述转接板(27)的外周为此是圆形的。

8.根据权利要求6所述的装夹工具(1)，其特征在于，弹簧件(22)被分配给保持开口(19)，所述弹簧件(22)被设计用于固定通过所述保持开口(19)卡住的物体。

9.根据权利要求8所述的装夹工具(1)，其特征在于，至少在张紧时，该弹簧件(22)按下述方式被固定到该底部托座(26)：该弹簧件(22)有助于固定待涂覆物体并且相对于该底部托座(26)固定该转接板(27)。

10.根据权利要求8所述的装夹工具(1)，其特征在于，转接板(27)或所述屏罩或屏罩板(2)是形成每个保持开口(19)的边框部的前板与形成每个保持开口(19)的保持部的后板的夹层结构，在所述前板和后板之间的接触区域被密封。

11.一种物理气相沉积涂覆设备，具有根据权利要求1至10中任一项所述的装夹工具(1)。

12.一种用于物理气相沉积涂覆的方法，其特征在于，为了保持基片，采用根据权利要求1至10中任一项所述的装夹工具(1)，而待涂覆基片首先通过屏罩板(2)被卡住，随后所述基片在被所述屏罩板(2)保持的同时接受清洁处理，接着该屏罩板(2)连同所保持的基片一起被安装到所述装夹工具(1)上，所述装夹工具转而被或将被定位在沉积室中，接着进行物理气相沉积。