[发明专利]电子枪、电子射线应用装置、使用电子枪的电子束射出方法以及电子束的焦点位置调整方法

权利要求书

1.一种电子枪，包括：

光电阴极；以及

阳极；

其中所述电子枪进一步包括：

中间电极，其配置在所述光电阴极与所述阳极之间；

其中所述中间电极具有：

电子束通过孔，其使自所述光电阴极射出的电子束通过；

其中，在所述电子束通过孔中形成有漂移空间，其在透过施加电压而在所述光电阴极与所述阳极之间形成电场时，能够忽略所述电场的影响，并且扩展通过的电子束的宽度。

2.如权利要求1所述的电子枪，其中，

当所述中间电极如下规定时，具有D/(a/2+b/2)大于1的关系，这里：

所述电子束通过孔的中心轴方向的长度为D；

所述电子束通过孔的电子束的入口的截面长为a；

所述电子束通过孔的电子束的出口的截面长为b。

3.如权利要求1或2所述的电子枪，其包括驱动部，所述驱动部用于将所述中间电极在所述光电阴极与所述阳极之间向所述电子束通过孔的中心轴方向驱动。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电子枪，其中所述中间电极的所述电子束通过孔的中心轴方向的长度D可变。

5.如权利要求1至4中任一项所述的电子枪，其包括电源，所述电源使所述光电阴极与所述阳极之间形成电场，且施加电压于所述中间电极。

6.如权利要求5所述的电子枪，其中当界定所述光电阴极的电压为第一电压，所述阳极的电压为第二电压时，所述电源可在较所述第一电压相对为正，且较所述第二电压相对为负的范围内向所述中间电极施加电压。

7.如权利要求1至6中任一项所述的电子枪，其包括驱动部，所述驱动部用于将所述光电阴极和/或所述阳极朝向所述电子束通过孔的中心轴方向驱动。

8.一种电子射线应用装置，包括权利要求1至7中任一项所记载的电子枪，

所述电子射线应用装置是自由电子激光加速器、电子显微镜、电子射线全像术装置、电子射线图案化装置、电子射线绕射装置、电子射线检查装置、电子射线金属层积造型装置、电子射线微影术装置、电子射线加工装置、电子射线硬化装置、电子射线灭菌装置、电子射线杀菌装置、电浆产生装置、原子状元素产生装置、旋转偏极电子射线产生装置、阴极发光装置或逆光子放射摄谱术装置。

9.一种使用电子枪的电子束射出方法，包括：

电子束射出步骤，自光电阴极朝向阳极射出电子束；

漂移空间通过步骤，使自所述光电阴极射出的电子束通过漂移空间，所述漂移空间形成于中间电极的电子束通过孔，并可忽略透过施加电压而在所述光电阴极与所述阳极之间形成的电场的影响，且扩展通过的电子束的宽度；以及

电子束会聚步骤，所述漂移空间通过步骤后的电子束朝向所述阳极会聚。

10.一种电子束的焦点位置调整方法，在自权利要求9所述的使用电子枪的电子束射出方法的电子束射出步骤(ST1)至电子束会聚步骤(ST3)之间包括：

电子束宽度调整步骤。