[发明专利]透明工件堆叠体的选择性激光加工

权利要求书

1.一种用于加工透明工件的方法，所述方法包括：

在透明工件之中或之上形成光学改性区域；

在透明工件中形成轮廓，所述轮廓包括在透明工件中的多个缺陷，其与光学改性区域侧向偏置定位，其中，形成轮廓包括：

将沿着光束路径取向的包含准无衍射光束的主激光束引导到透明工件上，以使得：

主激光束的第一散焦部分被引导到透明工件中，从而在透明工件内产生诱导吸收，该诱导吸收在透明工件内产生缺陷，至少部分的缺陷在至少一部分光学改性区域下方延伸；以及

通过光学改性区域改变主激光束的第二散焦部分；

其中，准无衍射光束包括：

波长λ；

光斑尺寸w_o；和

包括瑞利范围Z_R的截面，所述瑞利范围Z_R大于其中F_D是无量纲的发散度因子，其包括10或更大的数值；以及

使透明工件和主激光束沿着轮廓线相对于彼此平移，并且与光学改性区域侧向偏置，

其中，光学改性区域包括在透明工件中形成的改性迹线，并且

其中，在透明工件中形成改性迹线包括：

将辅助激光束引导到透明工件上，以使得辅助激光束改变至少一部分的透明工件；以及

使透明工件和辅助激光束沿着改性线相对于彼此平移，从而沿着改性线改变透明工件，形成改性迹线。

2.如权利要求1所述的方法，其中：

辅助激光束和主激光束各自包括脉冲激光束；

主激光束包括第一脉冲能，并且辅助激光束包括第二脉冲能；并且

第一脉冲能大于第二脉冲能。

3.如权利要求2所述的方法，其中：

将辅助激光束引导到透明工件上改变了至少一部分透明工件的折射率；并且

使透明工件和辅助激光束沿着改性线相对于彼此平移在透明工件内产生了折射率改变区域，从而形成改性迹线。

4.如权利要求1所述的方法，其中，将辅助激光束引导到透明工件上烧蚀了来自透明工件的第一表面的材料。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中：

光学改性区域包括第一光学改性区域，并且所述方法还包括：在透明工件之上或之中形成第二光学改性区域；以及

第二光学改性区域与第一光学改性区域侧向偏置定位，使得第一光学改性区域被设置在轮廓线与第二光学改性区域之间。

6.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中：

光学改性区域包括第一光学改性区域，并且所述方法还包括：在透明工件之中形成第二光学改性区域；并且

第二光学改性区域与轮廓线侧向偏置定位，以使得轮廓线被设置在第一光学改性区域与第二光学改性区域之间。

7.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中：

主激光束以接近角α冲击透明工件的第一表面；

光学改性区域从轮廓线以偏置距离D_偏置侧向偏置；并且

光学改性区域在透明工件的第一表面下游距离D_切断处破坏激光束焦线的形成，其中，D_偏置＝D_切断tanα。

8.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中，主激光束沿着光束路径被引导通过一个或多个透镜，以使主激光束的第一散焦部分被引导到透明工件中并在透明工件内形成激光束焦线，其中，激光束焦线在透明工件内产生诱导吸收，所述诱导吸收在透明工件内产生缺陷。