[发明专利]大型活动区高速检测器的架构在审
申请号: | 201980024025.6 | 申请日: | 2019-03-14 |
公开(公告)号: | CN112005334A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 王勇新;董仲华;赖瑞霖 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244;H01L27/146 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 董莘 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大型活动 高速 检测器 架构 | ||
1.一种检测器,包括:
衬底,包括多个感测元件;以及
多个部段,包括将多个第一感测元件的一个或多个感测元件连接到第一输出的第一部段和将多个第二感测元件的一个或多个感测元件连接到第二输出的第二部段。
2.根据权利要求1所述的检测器,其中所述多个部段包括布线路径和信号处理电路。
3.根据权利要求1所述的检测器,还包括:
多个电路,被配置为处理所述多个感测元件的输出,其中所述多个电路中的第一电路连接到所述第一部段,并且所述多个电路中的第二电路连接到所述第二部段。
4.根据权利要求3所述的检测器,还包括:
开关,设置在所述多个感测元件中的每个感测元件与所述多个电路之间的布线路径上。
5.根据权利要求1所述的检测器,还包括:
传感器管芯,包括所述衬底;以及
电路管芯,包括被配置为处理所述多个感测元件的输出的一个或多个电路。
6.根据权利要求5所述的检测器,其中所述传感器管芯和所述电路管芯堆叠在一起使得所述多个第一感测元件邻近所述第一部段并且所述多个第二感测元件邻近所述第二部段。
7.根据权利要求1所述的检测器,还包括:
至少一个开关区域,被配置为连接所述多个感测元件中的两个或更多个。
8.根据权利要求7所述的检测器,其中所述至少一个开关区域包括设置在所述多个感测元件中的每个感测元件之间的开关区域。
9.根据权利要求7所述的检测器,其中在所述衬底的截面图中,所述至少一个开关区域与所述多个感测元件中的两个或更多个感测元件成一体。
10.根据权利要求7所述的检测器,其中所述开关区域在所述多个感测元件的活动区中。
11.根据权利要求7所述的检测器,其中所述开关区域在所述多个感测元件的活动区之外。
12.根据权利要求1所述的检测器,其中所述多个部段的每个包括信号处理路径。
13.根据权利要求12所述的检测器,其中所述信号处理路径包括与数据转换器耦合的放大器。
14.一种检测系统,包括:
检测器阵列,包括多个感测元件;
多个部段,包括将多个第一感测元件连接到第一输出的第一部段和将多个第二感测元件连接到第二输出的第二部段;以及
接口。
15.根据权利要求14所述的检测系统,还包括:
传感器管芯,包括所述多个感测元件;以及
电路管芯,包括被配置为处理所述多个感测元件的输出的一个或多个电路。
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