[发明专利]金属氯化物生成装置及金属粉体的制造方法

说明书

本发明提供一种能够防止制造装置的破损和损坏、稳定地制造金属粉体的方法、能够实现该方法的金属氯化物生成装置、以及包括金属氯化物生成装置的金属粉体的制造系统。金属氯化物生成装置具有：氯化炉，其具备具有用于导入金属的金属导入口的第一加热炉以及与第一加热炉连结的第二加热炉；第一加热器，其加热所述第一加热炉；以及第二加热器，其加热所述第二加热炉。第二加热炉具有用于排出金属的氯化物的气体的排出口。氯化炉具有用于导入包含氯元素的气体的第一气体导入口，第一气体导入口被第一加热器和第二加热器的中的任意一方包围。

技术领域

本发明的实施方式之一涉及一种金属氯化物生成装置、用于制造金属粉体的系统以及使用该系统的金属粉体的制造方法。

背景技术

微细的金属粒子(金属粉体)在各种领域被利用，例如铜、镍、银等显示高导电性的金属粉体，作为多层陶瓷电容器(MLCC)的内部电极等电子部件的原材料被广泛利用。制造这种金属粉体的方法已知有几种，作为其中一例可以举出气相法。在该方法中，如专利文献1、2所公开的那样，通过使金属氯化物的气体与氢气等还原性气体接触而还原，从而形成金属粉体。

在先技术文献

专利文献1：日本特公平6-76609号公报；

专利文献2：日本特开平10-219313号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明的实施方式之一的课题之一在于，提供一种能够防止制造装置的破损、损坏并且稳定地制造金属粉体的方法、能够实现该方法的金属氯化物生成装置、以及包含金属氯化物生成装置的金属粉体的制造系统。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的实施方式之一是金属氯化物生成装置。该金属氯化物生成装置具有：氯化炉，其具备具有用于导入金属的金属导入口的第一加热炉以及与第一加热炉连结的第二加热炉；第一加热器，其加热第一加热炉；以及第二加热器，其加热第二加热炉。第二加热炉具有用于排出金属的氯化物的气体的排出口。氯化炉具有用于导入包含氯元素的气体的第一气体导入口，第一气体导入口被第一加热器和第二加热器中的任意一方包围。

本发明所涉及的实施方式之一是金属氯化物生成装置。该金属氯化物生成装置具有：第一加热炉，其具有用于导入金属的金属导入口和用于导入氮气的气体导入口；第二加热炉，其与第一加热炉连结，并具有用于排出金属的氯化物的排出口；第一加热器，其加热第一加热炉；第二加热器，其加热第二加热炉；以及第三加热器，其用于加热氮气。

本发明所涉及的实施方式之一是制造金属粉体的方法。该方法包括：在构成为通过第一加热器和第二加热器加热的氯化炉中使金属与氯气发生反应而生成金属的氯化物；以及通过从设置在氯化炉上的第一气体导入口导入包含氯元素的气体从而将氯化物的蒸气运送到还原炉。第一气体导入口被第一加热器和第二加热器中的任意一方包围。

本发明所涉及的实施方式之一是制造金属粉体的方法。该方法包括一边将被加热后的氮气导入氯化炉一边在氯化炉中使金属与氯气发生反应而生成金属的氯化物以及使用包含氯元素的气体将氯化物的蒸气运送到还原炉。

本发明所涉及的实施方式之一是金属氯化物生成装置。该金属氯化物生成装置具有氯化炉，其具备具有用于导入金属的金属导入口的第一加热炉以及与第一加热炉连结的第二加热炉。第二加热炉具有用于排出金属的氯化物的气体的排出口以及用于导入包含氯元素的气体的第一气体导入口。