[发明专利]包括电极线的离子引导件和离子束沉积系统

权利要求书

1.一种用于沿着离子路径引导离子束的离子引导件(36)，所述离子引导件(36)具有对应于所述离子路径的纵轴(44)，所述离子引导件(36)包括围绕所述纵轴(44)布置并沿着所述纵轴(44)延伸的多个长型电极，

其中，所述多个长型电极的内包络线(120)限定离子引导容积(128)，

其特征在于，所述长型电极由直径为1.0mm或更小的电极线(42)形成，其中，相邻的电极线(42)以线间距离(122)布置，

其中，所述离子引导件(36)包括保持结构，所述保持结构用于通过向所述电极线(42)施加张力或保持施加至所述电极线(42)的张力来支承和矫直所述电极线(42)，

其中，所述保持结构的与所述离子引导容积隔开小于局部线间距离(122)的任何部分均由电阻率小于10¹²Ω-cm的材料制成，或在面对所述离子引导容积(128)的表面上具有小于10¹⁴Ω的薄层电阻率，其中，所述保持结构的所述任何部分与所述离子引导容积隔开优选地小于两倍的所述局部线间距离(122)，并且最优选地小于三倍的所述局部线间距离(122)，制成所述任何部分的所述材料的电阻率优选地小于10⁹Ω-cm，所述薄层电阻率优选地小于10¹⁰Ω。

2.根据权利要求1所述的离子引导件(36)，其中，所述电极线(42)的数量为6个或更多，优选地为8个或更多，更优选地为10个或更多，且最优选地为16个或更多。

3.根据权利要求1或2所述的离子引导件(36)，其中，与所述电极线(42)之一接触的所述保持结构的部分由中等电阻率材料制成，所述中等电阻率材料具有在10²Ω-cm与10¹²Ω-cm之间的电阻率，优选地在3·10⁵Ω-cm与10⁹Ω-cm之间，或在面对所述离子引导容积(128)的表面上具有在10⁴Ω与10¹⁴Ω之间的薄层电阻率，优选地在3·10⁷Ω和10¹⁰Ω之间。

4.根据权利要求3所述的离子引导件(36)，其中，所述中等电阻率材料是塑料材料或陶瓷材料，所述塑料材料或所述陶瓷材料包括导电粒子或与所述导电粒子混合，特别是金属粒子或石墨粒子、或基于铁氧体的材料，或其中所述薄层电阻率通过用涂层，特别是厚度为30至1000nm的金属膜，或含有玻璃和金属氧化物的湿黏土，涂覆与所述电极线(42)之一接触的所述保持结构的表面而获得，其中所述湿黏土优选地具有5至1000μm的厚度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的离子引导件(36)，其中，与所述电极线(42)之一接触的所述保持结构的部分由导电材料制成，特别是由金属制成，其中，所述保持结构的所述部分进一步附接至绝缘载体或由所述中等电阻率材料制成的载体。

6.根据前述权利要求中任一项所述的离子引导件(36)，其中，所述保持结构包括至少一个电极线固定结构(46)，所述电极线(42)的端部固定在所述电极线固定结构(46)中，其中，在所述电极线固定结构(46)中，所述电极线(42)弯曲至少90°，优选地弯曲至少120°，以及最优选地弯曲至少150°。

7.根据权利要求6所述的离子引导件(36)，其中，所述电极线(42)通过硬焊接或软焊接、点焊、黏合、铸造、夹紧以及通过特别是螺钉(76)的紧固件中的一种或多种固定至所述电极线固定结构(46)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的离子引导件(36)，其中，所述保持结构包括张紧结构(48)，所述张紧结构(48)适于建立和/或保持所述电极线(42)的张力，其中，所述张紧结构(48)优选地包括一个或多个弹性元件，特别是一个或多个弹簧(53)，所述弹簧(53)适于建立和/或保持所述电极线(42)的张力。