[发明专利]用于功率发生器的自适应控制在审

专利信息
申请号: 201980024263.7 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN111954916A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 戴维·J·库莫;Y·埃尔纳;昂·托埃;丹尼尔·M·吉尔;埃尔德里奇·M·芒特;肖恩·史密斯 申请(专利权)人: MKS仪器有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;宋志强
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 功率 发生器 自适应 控制
【权利要求书】:

1.一种功率发生器,包括:

自适应控制器,所述自适应控制器基于用于产生功率信号的所述功率发生器的输入设定值、所述功率信号的测量表示和所述功率信号的模型表示来产生控制信号,其中所述控制信号包括反馈分量和前馈分量;以及

功率放大器,所述功率放大器根据所述控制信号产生被传送至非线性负载的所述功率信号。

2.根据权利要求1所述的功率发生器,其中所述自适应控制器包括:

前馈电路,所述前馈电路基于所述输入设定值以及所述功率信号的所述测量表示与所述功率信号的所述模型表示之间的差来产生所述前馈分量;以及

反馈电路,所述反馈电路基于所述功率信号的所述测量表示与所述功率信号的所述模型表示之间的差来产生所述反馈分量。

3.根据权利要求1所述的功率发生器,进一步包括自适应速率控制器,所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号来确定所述功率信号的所述测量表示。

4.根据权利要求1所述的功率发生器,进一步包括自适应速率控制器,所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号中的至少一个产生输出,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示,其中所述自适应控制器基于所述功率信号的自适应缩放后的测量表示来产生所述控制信号。

5.根据权利要求1所述的功率发生器,进一步包括自适应速率控制器,所述自适应速率控制器产生输出,以基于通过相位、频率以及相位和频率两者中的至少一个进行的换向而自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。

6.一种包括权利要求1所述的功率发生器的系统,进一步包括自适应速率控制器,所述自适应速率控制器包括:

直接数字合成器,所述直接数字合成器基于第二控制信号产生正弦信号和余弦信号;

第一混合器,第一混合器混合所述正弦信号和所述功率信号的数字表示,并产生所述功率信号的所述数字表示的实部分量;

第二混合器,所述第二混合器混合所述余弦信号和所述功率信号的所述数字表示,并产生所述功率信号的所述数字表示的虚部分量;以及

子系统控制器,所述子系统控制器基于所述实部分量和所述虚部分量、所述功率发生器的所述输入设定值以及用于控制所述功率信号的参数来产生所述第二控制信号。

7.根据权利要求6所述的系统,其中所述子系统控制器产生输出,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示,并且其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。

8.根据权利要求6所述的系统,进一步包括缩放电路,所述缩放电路自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示,其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。

9.根据权利要求6所述的系统,其中所述子系统控制器产生输出信号,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示,所述系统进一步包括:

处理器,所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示,并产生多个实部分量和虚部分量;以及

换向器,所述换向器基于所述输出信号在所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换,来输出缩放因子,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。

10.根据权利要求6所述的系统,其中所述子系统控制器产生输出信号,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示,所述系统进一步包括:

处理器,所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示,产生多个实部分量和虚部分量,并通过将一对所述实部分量和所述虚部分量与复数值进行合并来产生合成值;以及

换向器,所述换向器基于所述输出信号,在所述合成值与所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换来输出缩放因子,以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。

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