[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201980024342.8 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN111937141A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 佐藤悠司 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H01L23/36 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
不需要复杂的结构就能够相对于冷却壳体高精度地定位散热基板。半导体装置(1)包括绝缘基板(14)、搭载于绝缘基板上的半导体元件(12、13)、冷却半导体元件的冷却器(20)。冷却器包括与绝缘基板接合的散热基板(21)、设于散热基板的同与绝缘基板之间的接合面相反的一侧的散热面的多个翅片(22)、具有收纳翅片的凹部(24)的冷却壳体(23)。在散热面设有与冷却壳体的凹部的内壁面的局部卡合的定位用的多个卡合片(221、222)。
技术领域
本发明涉及一种具备用于冷却半导体元件的冷却器的半导体装置。
背景技术
在混合动力汽车、电动汽车中,为了可变地驱动马达而利用有电力转换装置。在该电力转换装置中,使用有具备多个功率半导体元件的半导体模块(功率半导体模块)。通常,功率半导体元件在控制大电流时发热,随着电力转换装置的小型化、高输出化的进展,其发热量增大。
以往,为了冷却功率半导体模块,提案有一种具备制冷剂式的冷却器的半导体装置。例如,这样的制冷剂式冷却器具备:金属制的散热基板,其同搭载功率半导体元件的绝缘基板的与半导体模块相反的一侧的面接合;散热用的翅片,其与该散热基板一体形成;以及箱形形状的冷却壳体,其收纳该翅片,并液密地安装于散热基板。通过使利用外部泵加压的冷却介质在冷却壳体内的流路中流动,从而将功率半导体元件的发热能量经由翅片向冷却介质散热。
在具备这样的冷却器的半导体装置中,要求在相对于冷却壳体的适当的位置安装散热基板。以往,提案有一种半导体装置:在形成了制冷剂流路的冷却壳体的局部设置凹部,在构成散热基板的冷却翅片基座的局部设置与该凹部嵌合的凸部,在相对于冷却壳体的适当的位置安装冷却翅片基座(例如参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开2016-92209号公报
发明内容
然而,在上述的专利文献1所述的半导体装置中,需要在冷却壳体和冷却翅片基座双方设置用于定位的结构。因此,具有构成半导体装置的部件变得复杂的问题。
本发明即是鉴于该问题点而做成的,其一个目的在于提供一种不需要复杂的结构就能够相对于冷却壳体高精度地定位散热基板的半导体装置。
本实施方式的半导体装置包括:绝缘基板,其具有第1面和与所述第1面相反的一侧的第2面;半导体元件,其搭载于所述绝缘基板的所述第1面上;以及冷却器,其用于冷却所述半导体元件,该半导体装置的特征在于,所述冷却器包括:散热基板,其具有接合面和与所述接合面相反的一侧的散热面,所述接合面与所述绝缘基板的所述第2面接合;多个翅片,其设于所述散热基板的所述散热面;以及冷却壳体,其具有收纳所述多个翅片的凹部,在所述散热面设有与所述冷却壳体的所述凹部的内壁面的局部卡合的定位用的多个卡合片。
根据本发明,不需要复杂的结构就能够相对于冷却壳体高精度地定位散热基板。
附图说明
图1是本实施方式所涉及的半导体装置的立体图。
图2是本实施方式所涉及的半导体装置具有的冷却壳体的立体图和俯视图。
图3是设于本实施方式所涉及的半导体装置的散热基板的翅片的说明图。
图4是本实施方式所涉及的半导体装置的冷却介质的流动的说明图。
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