[发明专利]锭的切断方法及线锯

说明书

本发明为一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。由此，提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的线锯及锭的切断方法。

技术领域

本发明涉及锭的切断方法及线锯。

背景技术

近年来，期望晶圆的大型化，伴随着该大型化而使用专用于切断锭的线锯。线锯是这样的装置，其使金属线(高张力钢线)高速移动，一边在此喷洒浆料，一边使工件(例如可以举出：硅、玻璃、陶瓷等脆性材料的锭。以下也简称为锭)抵靠而进行切断，从而同时切出多个晶圆。

在此，图12表示现有的线锯的一例的概要。如图12所示，线锯101主要具备：用于切断锭的金属线102、将金属线102卷绕于多个导线器103而形成的金属线列111、用于对金属线102赋予张力的张力赋予机构104、以及对进行切断的锭进行输送的锭输送机构105等。另外，具有由浆料箱116、热交换器117及喷嘴115所构成的浆料供给机构106。

金属线102从一侧的金属线卷盘107送出，经由平行移动装置(日语：トラバーサ)108，再经过由磁粉离合器(固定力矩马达109)及张力调节辊(固定载荷(日语：デットウェイト))(未图示)等构成的张力机构104，而进入导线器103。金属线102在该导线器103上卷绕300～400周左右之后，经过另一侧的张力赋予机构104’而卷绕于金属线卷盘107’。

另外，导线器103是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂并在其表面以恒定的间距切出槽的辊，且能够利用驱动用马达110使卷绕的金属线102以预先确定的周期沿往复方向进行驱动。

另外，在进行工件的切断时，锭通过锭输送机构105而被保持且被按压下降，并且在卷绕于导线器103的金属线102的附近设置有喷嘴115，其能够在进行切断时从浆料箱116向金属线102供给浆料。另外，浆料箱116与热交换器117连接，而能够调节所供给的浆料的温度。

对于上述所供给的浆料，以使预先设定的锭切断位置(切入位置)成为目标温度的方式，通过热交换器117调节温度，而能够在控制到所要温度的状态下进行供给。

在切断锭时，导线器103会由于与金属线的磨擦热及在保持导线器的轴承部所产生的摩擦热而向轴向延伸，因此，存在导致呈螺旋状卷绕于导线器的金属线列与锭的相对位置在切断中发生变化的情况。

已知该带槽辊的轴向的位移与在锭的切断中所供给的浆料的温度有一定的相关(参考专利文献1)。

以往，使用这样的线锯101，并使用金属线张力赋予机构104对金属线102施加适当的张力，通过驱动用马达110，使金属线102在往复方向上移动，并一边供给浆料一边对锭进行切片，从而获得期望的切片晶圆。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-185419号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

如果对以上述那样的线锯101将锭切断而得到的晶圆的工件(锭)输送方向的翘曲形状进行确认，则根据锭内的位置，混合存在有呈现凸形状的晶圆及呈现凹形状的晶圆。

这是由于在锭的切断中，锭与金属线的磨擦导致锭切断部发热，致使锭在切断中热膨胀所引起的。因此，由于该热膨胀，在锭与金属线的相对位置没有改变的情况下，如果以锭的中央为分界而确认工件输送方向的翘曲形状，则装置近前侧(金属线供给侧)更容易与锭中央的晶圆相比呈现凸形状，装置深处侧(金属线回收侧)更容易与锭中央的晶圆相比呈现凹形状。