[发明专利]热式流量计

说明书

本发明提供能够单独地校正在上游侧温度传感器和下游侧温度传感器中产生的不同的脉动误差的热式流量计。一种热式流量计(1)，其基于分别配置于发热体(11)的上游侧和下游侧的上游侧温度传感器(12)与下游侧温度传感器(13)的温度差，测定气体的流量。热式流量计(1)具备：检测元件(10)，其单独地输出上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号；以及补偿部(20)，其对上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号单独地进行响应补偿。

技术领域

本公开涉及热式流量计。

背景技术

以往，已知有与基于向空气的散热量来测定空气流量的热式流量传感器相关的发明(参考下述专利文献1)。专利文献1所记载的热式流量传感器具有空气流量检测元件和校正电路部(参考该文献等)。空气流量检测元件在半导体基板上具有具备薄膜部的隔膜。

校正电路部在空气流量检测元件的隔膜上具有至少一个发热电阻体。另外，校正电路部在发热电阻体的上游侧和下游侧各形成有至少一个检测温度的测温电阻体。校正电路部至少基于上游侧和下游侧的两个测温电阻体的温度差信息，作为空气流量检测元件的输出信号进行处理。

该以往的热式流量传感器的特征在于由校正电路部处理的输出信号的波形。该输出信号的波形为如下波形，其是通过在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出规定值从而将形成峰值的波峰部或者波谷部的一部分截断成该规定值而成的。由此，能够提供提高了测量精度的热式流量传感器(参考该文献、第0010段等)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-049135号公报

发明内容

发明要解决的课题

所述以往的热式流量传感器能够利用所述结构在脉动的吸入空气的流量的测定时降低输出信号的脉动误差，提高测量精度。然而，由于会在上游侧的测温电阻体和下游侧的测温电阻体中产生不同的脉动误差，所以存在改善的余地。

本公开提供能够单独地校正在上游侧温度传感器和下游侧温度传感器中产生的不同的脉动误差的热式流量计。

用于解决课题的技术手段

本公开的一个方案为一种热式流量计，其基于配置于发热体的上下游的上游侧温度传感器与下游侧温度传感器的温度差，测量气体的流量，所述热式流量计的特征在于，具有：检测元件，其从所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器单独地取出输出信号；以及补偿部，其对所述上游侧温度传感器的输出信号和所述下游侧温度传感器的输出信号单独地进行响应补偿。

发明的效果

根据本公开的一个方案，能够提供能够单独地校正在上游侧温度传感器和下游侧温度传感器中产生的不同的脉动误差的热式流量计。

附图说明

图1为实施方式1的热式流量计的概略性电路图。

图2为实施方式1的热式流量计的概略性俯视图。

图3为沿着图2的III-III线的热式流量计的剖面图。

图4为表示图1的热式流量计的补偿部的结构的电路图。

图5为表示图4的补偿部的频率特性的曲线图。

图6为表示图1的热式流量计的上游侧温度传感器的输出特性的曲线图。

图7为表示图1的热式流量计的下游侧温度传感器的输出特性的曲线图。

图8为表示图1的热式流量计的上游侧温度传感器的响应性的曲线图。

图9为表示图1的热式流量计的下游侧温度传感器的响应性的曲线图。