[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制方法，其特征在于，

使用流量控制装置而进行，所述流量控制装置具备：

第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；和

压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧并且所述第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定，

所述流量控制装置以如下方式构成：通过基于所述压力传感器输出的信号控制所述第一控制阀的开度，从而对在所述第二控制阀的下游侧流动的流体的流量进行控制，

所述流量控制方法包含：

步骤(a)，在所述步骤(a)中，基于所述压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制所述第一控制阀的开度，并且维持打开所述第二控制阀的状态，从流体以所述第一流量流动的状态起，关闭所述第一控制阀的开度；和

步骤(b)，在所述步骤(b)中，基于所述压力传感器的输出，通过调整所述第二控制阀的开度对残留在所述第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在所述第二控制阀的下游侧流动。

2.根据权利要求1所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(b)中，在将α设为比例常数，将ΔP/Δt设为所述压力传感器输出的上游压力的变化ΔP与所述上游压力的变化ΔP所需要的时间Δt之比即压力变化率，将V设为所述第一控制阀与所述第二控制阀之间的内容积时，

以由Q＝α·(ΔP/Δt)·V表示的减量流量Q与所述第二流量一致的方式，基于所述压力传感器输出的信号，对所述第二控制阀的开度进行反馈控制。

3.根据权利要求1或2所述的流量控制方法，其特征在于，

还包含步骤(c)，在所述步骤(c)中，在进行了所述步骤(b)之后，在所述压力传感器的输出降低到规定值的时刻，基于所述压力传感器的输出控制所述第一控制阀的开度而使流体以所述第二流量向下游流动。

4.根据权利要求3所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(a)中，流体以所述第一流量流动的期间，以及在所述步骤(c)中控制所述第一控制阀的开度而使流体以所述第二流量流动时，所述第二控制阀被打开为全开。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(a)中，将所述第一控制阀关闭至比基于所述压力传感器的输出将所述第一控制阀的开度控制为所述第二流量时的开度小的开度。

6.根据权利要求1至5任一项中所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(a)中关闭所述第一控制阀的时机与在所述步骤(b)中开始进行所述第二控制阀的开度的调整的时机同步。

7.一种流量控制装置，其特征在于，具备：

第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；

压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧并且所述第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定；和

控制电路，所述控制电路对所述第一控制阀和所述第二控制阀的动作进行控制，并且以如下方式构成：通过基于所述压力传感器输出的信号来控制所述第一控制阀，从而对流量进行控制，

所述控制电路执行：

步骤(a)，在所述步骤(a)中，基于所述压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制所述第一控制阀的开度，并且维持打开所述第二控制阀的状态，从流体以所述第一流量流动的状态起，关闭所述第一控制阀的开度；和

步骤(b)，在所述步骤(b)中，基于所述压力传感器的输出，通过调整所述第二控制阀的开度对残留在所述第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在所述第二控制阀的下游侧流动。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第二控制阀为常开型的阀。

9.根据权利要求7或8所述的流量控制装置，其特征在于，

还具备设置于所述第二控制阀的下游侧的另外的压力传感器。