[发明专利]金属微细结构体和检测装置

说明书

本公开提供一种能够以高灵敏度检测低浓度的被检测物质的金属微细结构体。本公开的金属微细结构体具备：具有以预定间隔配置的多个突起部(2022a)的基材(2022)；和由被覆基材的金属膜(2023)构成，通过照射光而产生表面等离激元的多个凸状结构体(2023a)。位于多个凸状结构体之中相邻的凸状结构体的间隙的底部的金属膜的膜厚(t2)，大于多个突起部的高度(t3)，并且是在多个突起部的顶部上堆积的金属膜的膜厚(t1)的90％以上且100％以下的厚度。

技术领域

本公开涉及例如用于表面增强荧光等光检测的金属微细结构体和使用该金属微细结构体的病毒检测装置。

背景技术

作为捕集在空气中浮游的病毒并进行光学计测的技术，已知有利用表面增强拉曼光谱法和表面增强荧光法等的光检测法。

在利用表面增强荧光的传感器器件中，使用具有金属微细结构体的等离子(电浆子)基板。已公开了在其制作中通过在基板上周期性地配置金属微细突起部而构成的技术(例如专利文献1)，在基板上配置金属球的技术(例如专利文献2)，周期性地配置凹部的技术(例如专利文献3)。专利文献4公开了表面增强拉曼散射元件及其制造方法。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2008-196898号公报

专利文献2：日本特开2016-20887号公报

专利文献3：日本特开2014-160021号公报

专利文献4：日本特开2015-014545号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，上述现有的金属微细结构体，由于结构上的问题，有时无法检测出低浓度的被检测物质。

因此，本公开提供能够以高灵敏度检测低浓度的被检测物质的金属微细结构体和使用该金属微细结构体的检测装置。

用于解决课题的手段

本公开的一技术方案涉及的金属微细结构体，具备：具有以预定间隔配置的多个突起部的基材；和由被覆基材的金属膜构成，通过照射光而产生表面等离激元的多个凸状结构体。位于多个凸状结构体之中相邻的凸状结构体的间隙的底部的金属膜的膜厚，大于多个突起部的高度，并且是在多个突起部的顶部上堆积的金属膜的膜厚的90％以上且100％以下的厚度。

发明的效果

根据本公开，能够以高灵敏度检测低浓度的被检测物质。

附图说明

图1是表示实施方式中的检测系统的一例的概略结构图。

图2是表示实施方式涉及的检测装置的一例的概略结构图。

图3A是表示实施方式中的传感器基板的一例的立体图。

图3B是表示实施方式中的金属微细结构体的一例的放大截面图。

图4是用于说明实施方式中的连接材料的图。

图5是表示使用实施方式中的传感器基板来检测被检测物质的方法的一例的流程图。

图6是表示实施方式中的传感器基板的制造方法的一例的流程图。

图7A是实施例1涉及的金属微细结构体的截面SEM(扫描电子显微镜；ScanningElectron Microscope)图像。

图7B是比较例1涉及的金属微细结构体的截面SEM图像。

图7C是比较例2涉及的金属微细结构体的截面SEM图像。