[发明专利]流体控制设备

权利要求书

1.一种流体控制设备，能够获取与内部动作相关的数据，所述流体控制设备具有：

机罩部，安装有用于检测所述流体控制设备内的动作的一个或多个传感器；以及

阀主体，其在内部收容所述机罩部，

在所述阀主体设置有：

凹部，其用于收容所述机罩部的至少一部分；以及

狭缝，其供与所述传感器连接的通信用的线缆向外侧导出，并且所述狭缝的与形成有流路的基台部相反侧的一端开口且从外侧向凹部侧贯通。

2.根据权利要求1所述的流体控制设备，其中，

所述传感器中的一个是对分离的磁铁与磁性体的磁场变化进行检测的磁传感器，

所述流体控制设备还具有：

圆柱状的隔膜压件，其安装有所述磁性体并按压隔膜；以及

转动限制单元，其针对以能够滑动的方式贯穿插入于贯穿插入孔内的所述隔膜压件，限制所述隔膜压件的周向的转动，所述贯穿插入孔设置于所述机罩部，

在所述机罩部安装有所述磁铁并设置有供所述隔膜压件贯穿插入的贯穿插入孔。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制设备，其中，

所述传感器中的一个是检测由隔膜隔离出的空间的压力的压力传感器，

在所述机罩部安装有所述压力传感器。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制设备，其中，

所述线缆的一端与设置于流体控制设备的外侧的连接器连接，

所述流体控制设备还具有将所述连接器固定于所述流体控制设备的固定单元。

5.根据权利要求4所述的流体控制设备，其中，

所述阀主体的基台部呈矩形，

所述固定单元将所述连接器朝向所述阀主体的基台部的对角线方向地固定于所述流体控制设备。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的流体控制设备，其中，

与所述传感器连接的通信用的线缆是具有挠性的柔性基板。