[发明专利]确定由图案化工艺形成的目标的所关注参数的值的方法

权利要求书

1.一种确定通过图案化工艺在衬底上形成的目标的所关注参数的值的方法，包括：

导出检测到的光瞳表示的对称分量和非对称分量，所述检测到的光瞳表示能够通过执行测量过程获取，所述测量过程包括用辐射照射所述目标、并且检测由所述目标重定向的辐射，其中：

所述目标的类型和测量过程使得表征所述对称分量的第一度量和表征所述非对称分量的第二度量在所述所关注参数的值的参考范围上，根据所述所关注参数非单调地变化，其中所述所关注参数包括以下中的任一项：所述目标中的非对称性的量度、套刻、侧壁角度非对称性、临界尺寸、叠层高度变化；以及

所述方法包括：使用所导出的对称分量和所导出的非对称分量的组合来标识：

所述所关注参数的、由于所述第一度量的所述非单调变化而全部与所述第一度量的值相对应的多个候选值中的正确值，所述第一度量的所述值与用于所述目标的所导出的对称分量相对应；或者

所述所关注参数的、由于所述第二度量的所述非单调变化而全部与所述第二度量的值相对应的多个候选值中的正确值，所述第二度量的所述值与用于所述目标的所导出的非对称分量相对应。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述非单调变化为周期性变化。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述所关注参数的值的参考范围与所述周期性变化的一个周期相对应。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一度量的所述周期性变化具有与所述第二度量的所述周期性变化相同的周期。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一度量的所述周期性变化相对于所述第二度量的所述周期性变化被相移。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述相移为90度。

7.根据权利要求2所述的方法，其中所述周期性变化为正弦曲线。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中：

针对从对应目标集合获取的检测到的光瞳表示的集合中的每个检测到的光瞳表示，导出所述对称分量和所述非对称分量；以及

所述所关注参数的所述正确值的所述标识包括：

a)针对所述目标集合中的每个目标，导出所述对称分量的所述第一度量，并且使用所得到的所导出的第一度量和所述所关注参数的对应值，估计所述第一度量相对于所述参考范围的子区域中的所述所关注参数的所述值的变化率的至少符号，所述符号为正或负；

b)针对所述目标集合中的每个目标，导出所述非对称分量的所述第二度量，并且使用所得到的所导出的第二度量和所述所关注参数的对应值，估计所述第二度量相对于所述参考范围的所述子区域中所述所关注参数的所述值的变化率的至少符号，所述符号为正或负；

使用在步骤(a)中确定的所述第一度量的所述变化率的所述至少符号和在步骤(b)中确定的所述第二度量的所述变化率的所述至少符号，标识所述子区域在所述参考范围中的位置。

9.根据权利要求8所述的方法，包括：使用所述子区域的所标识的位置，从所述所关注参数的所述多个候选值中标识所述正确值。

10.根据权利要求8所述的方法，其中：

所述非单调变化为周期性变化；

所述所关注参数的值的参考范围与具有四个象限的所述周期性变化的一个周期相对应；以及

所述子区域的所述位置如下被标识：

当所述第一度量的所述变化率为正、并且所述第二度量的所述变化率为负时，确定所述子区域位于所述四个象限中的第一象限中；

当所述第一度量的所述变化率为正、并且所述第二度量的所述变化率为正时，确定所述子区域位于所述四个象限中的第二象限中；

当所述第一度量的所述变化率为负、并且所述第二度量的所述变化率为正时，确定所述子区域位于所述四个象限中的第三象限中；以及

当所述第一度量的所述变化率为负、并且所述第二度量的所述变化率为负时，确定所述子区域位于所述四个象限中的第四象限中。