[发明专利]具备研磨垫的表面性状测定装置的研磨装置及研磨系统

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：

表面性状测定装置，该表面性状测定装置测定研磨垫的表面性状；

支承臂，该支承臂支承所述表面性状测定装置；

移动单元，该移动单元与所述支承臂连结，且使所述表面性状测定装置从待避位置自动移动至测定位置；及

位置调整机构，该位置调整机构自动调整所述表面性状测定装置的姿势，以使移动至所述测定位置的所述表面性状测定装置的下表面相对于所述研磨垫的表面平行，

所述位置调整机构具有：支承台，该支承台配置于所述支承臂的下方；及至少一个调整销，该调整销固定于所述表面性状测定装置的上表面，并通过形成于所述支承台的贯穿孔而延伸。

2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述移动单元具备：

固定块，该固定块固定于所述研磨装置；

转动块，该转动块与所述支承臂连结；

旋转轴，该旋转轴将所述转动块相对于所述固定块转动自如地连结；及

转动机构，该转动机构使所述转动块转动。

3.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，

所述转动机构是由与所述转动块连结的活塞、及将所述活塞收容为进退自如的缸体所构成的活塞缸体机构。

4.如权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，

所述旋转轴固定于所述转动块，

所述转动机构是与所述旋转轴连结的马达。

5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述调整销具有：销主体，该销主体具有比所述贯穿孔的直径小的直径，并且通过形成于所述支承台的贯穿孔而延伸；及销头，该销头相比于所述贯穿孔位于上方，且具有比所述贯穿孔的直径大的尺寸。

6.如权利要求1-4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述表面性状测定装置具备喷嘴，该喷嘴对所述研磨垫的研磨面倾斜地喷射加压气体。

7.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

所述表面性状测定装置具有外壳，该外壳收容用于测定研磨垫的表面性状的测定构造，

在所述外壳的下部形成有缺口，

所述喷嘴以所述加压气体朝向所述缺口的开口流动的方式喷射所述加压气体。

8.如权利要求1-4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

进一步具备移位机构，该移位机构沿着所述支承臂使所述表面性状测定装置相对于所述研磨垫的位置移位，

所述移位机构具有：

长孔，该长孔沿着所述支承臂而延伸；及

支承轴，该支承轴插入所述长孔，

所述支承轴具有：轴主体，该轴主体与所述表面性状测定装置连结；及轴头，该轴头与形成于所述长孔的内部的台阶部接触，且支承与所述轴主体连结的表面性状测定装置。

9.如权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，

所述移位机构进一步具备：活塞，该活塞与所述表面性状测定装置连结；及缸体，该缸体将所述活塞收容为进退自如；

所述移位机构的缸体固定于所述支承臂。

10.如权利要求2-4中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述转动块由与所述支承臂连结的第一板、以及与所述固定块连结的第二板构成，

所述第二板通过旋转销而相对于所述第一板转动自如地连结。

11.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

所述表面性状测定装置具有：

外壳，该外壳收容用于测定研磨垫的表面性状的测定构造；及

定位板，该定位板固定于所述外壳，

在使所述定位板与所述研磨垫接触时，所述定位板将铅直方向上的从所述研磨垫至所述测定构造的距离、及所述表面性状测定装置相对于所述研磨垫的角度始终保持恒定。