[发明专利]用于光显微镜的光束成形的光学布置和方法有效
申请号: | 201980027523.6 | 申请日: | 2019-04-11 |
公开(公告)号: | CN112074764B | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | J.西本摩根;I.克莱普;R.内茨 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/06 | 分类号: | G02B21/06;G02B26/06;G02B27/28 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 显微镜 光束 成形 光学 布置 方法 | ||
1.一种用于光显微镜的光束成形的光学布置,包括
-第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A),具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜,通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的;
其特征在于,
-第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B),具有多个可独立调整的液晶元件或反射镜,通过其入射光的相位以可设置的方式是可改变的;
-输入/输出耦合偏振分束器(10),以将指定偏振方向的入射光在所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A,35B)的方向上指引;
-偏振分束器(20),布置在所述输入/输出耦合偏振分束器(10)和所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A,35B)之间,
-使得所述偏振分束器(20)取决于所述偏振将来自所述输入/输出耦合偏振分束器(10)的光分成第一部分束(1A)和第二部分束(1B),所述第一部分束被指引到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A),以及所述第二部分束(1B)被指引到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B);以及
-使得所述偏振分束器(20)将从所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A,35B)返回的两个部分束(1A,1B)组合,并且将它们一起指引到所述输入/输出耦合偏振分束器(10)作为出射光束(2)。
2.如权利要求1所述的光学布置,
其特征在于,
其中,取决于所述第一部分束(1A)和第二部分束(1B)的相位调制,通过所述偏振分束器(20)组合的光的偏振改变,并且其中,该偏振改变决定在所述输入/输出耦合偏振分束器(10)处透射或反射的出射光束(2)的比例,导致通过所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)和第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)的相位调制设置的、在横截面之上的变化的强度。
3.如权利要求1所述的光学布置,
其特征在于,
所述第一液晶区域和第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35A,35B)是相同液晶矩阵或抬升微反射镜矩阵(35)的区域;
偏振旋转器(23)布置在所述偏振分束器(20)与所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)之间或者布置在所述偏振分束器(20)与所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)之间;
透明延迟元件(22)布置在所述偏振分束器(20)与所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)之间或者布置在所述偏振分束器(20)与所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B )之间;以及
透明延迟元件(22)被设计为使得从所述偏振分束器(20)到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)的光路长度等于从所述偏振分束器(20)到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)的光路长度。
4.如权利要求3所述的光学布置,
其特征在于,
从所述偏振分束器(20)到所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)的束路径被设计为使得所述第一部分束(1A)垂直地入射在所述第一液晶区域或抬升微反射镜区域(35A)上,并且沿着相同路径行进回到所述偏振分束器(20);
从所述偏振分束器(20)到所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)的束路径被设计为使得所述第二部分束(1B)垂直地入射在所述第二液晶区域或抬升微反射镜区域(35B)上,并且沿着相同路径行进回到所述偏振分束器(20)。
5.如权利要求1至4中任一项所述的光学布置,
其特征在于,
所述偏振分束器(20)被设计为使得所述第一部分束和第二部分束(1A,1B)平行于彼此地朝向所述液晶区域或抬升微反射镜区域(35A,35B)行进。
6.如权利要求4所述的光学布置,
其特征在于,
以下部件中的至少两个或所有部件直接接触:所述偏振分束器(20)、所述偏振旋转器(23)、所述液晶矩阵或抬升微反射镜矩阵(35)、以及透明延迟元件(22)。
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