[发明专利]表面光洁度触针

权利要求书

1.一种表面光洁度触针，包括；

长形触针轴，以及

从所述长形触针 轴突出的用于接触待测量的表面的接触元件，

其特征在于，所述接触元件是可变形的，并且所述触针轴包括用于固持所述接触元件的夹具，所述接触元件通过所述夹具而变形。

2.根据权利要求1所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件具有小于100μm的有效半径。

3.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件包括厚度小于1mm的片材。

4.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件由杨氏模量小于150GPa的材料形成。

5.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件包括金属。

6.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件包括铬钢和镍钛诺中的至少一者。

7.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件包括一个或多个弱化区域，以在被所述夹具固持时引起所需要的变形。

8.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述夹具使所述接触元件的一部分变形，以将所述接触元件不可移动地紧固至所述夹具。

9.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述接触元件包括盘。

10.根据权利要求9所述的表面光洁度触针，其中，所述夹具使所述盘变形以形成中空圆锥体，所述中空圆锥体具有用于接触表面的外围边缘。

11.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述夹具包括一对相反的夹紧面，这对相反的夹紧面具有形状以使所述接触元件变形成所期望的形状。

12.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，其中，所述夹具允许接触元件可释放地附接至轴。

13.根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针，包括多个接触元件和多个夹具，所述多个夹具用于固持所述多个接触元件中的每一个接触元件。

14.一种机床扫描测头，包括；测头主体；触针固持器，所述触针固持器可移动地附接至所述测头主体；以及偏转传感器，所述偏转传感器用于测量所述触针固持器相对于所述测头主体的偏转，其中，根据任一项前述权利要求所述的表面光洁度触针被附接至所述触针固持器。

15.一种用于形成表面光洁度触针的方法，所述表面光洁度触针包括长形触针轴、以及从所述长形触针 轴突出的用于接触待测量的表面的接触元件，所述方法的特征为将所述接触元件夹紧到所述长形触针 轴上的步骤，所述夹紧步骤使所述接触元件变形。