[发明专利]用于基于过程参数标记衬底的方法

权利要求书

1.一种用于分组数据的方法，所述数据与经历制造过程的过程步骤的衬底相关联，所述方法包括：

在衬底经历所述过程步骤之前，获取与衬底相关联的第一数据；

在衬底经历所述过程步骤之后，获取与衬底相关联的第二数据的多个集，第二数据的每个集与所述第一数据的特性的不同值相关联；

确定描述所述第二数据的多个集之间的距离的度量的距离度量；以及

基于所述距离度量的性质对所述第二数据进行分组。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：针对第二数据的每个集确定代表性后处理数据度量，以及确定用于描述所述代表性后处理数据度量之间的距离的度量的所述距离度量。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述代表性后处理数据度量包括第二数据的每个集中的所述第二数据的值的聚合。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述距离度量是描述所述代表性后处理数据度量的各对之间的距离的度量的距离矩阵。

5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述分组步骤之前，所述距离矩阵被变换成邻接矩阵，所述邻接矩阵描述所述代表性后处理数据度量的各对之间的邻接的度量。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：从所述距离度量确定完全连接图。

7.根据权利要求6所述的方法，包括：基于所述完全连接图针对第二数据的每个集确定相应的频谱码，以及基于所述频谱码对所述第二数据进行分组。

8.根据权利要求7所述的方法，其中根据所述完全连接图的矩阵表示的特征矢量确定所述频谱码。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数据是与在所述制造过程中使用的一个或多个装置相关联的使用数据，并且所述特性与所述一个或多个装置的识别相关联。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述距离度量是基于欧几里德或余弦。

11.根据权利要求1所述的方法，还包括：使用应用于经分组的第二数据的决策树算法来对所述经分组的第二数据进行分割。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述分割包括：

将多个分割规则应用于所述第一数据以获取所述第一数据的子集的多个配置；以及

基于与通过将分割规则应用于所述第一数据而获取的所述第一数据的所述子集相关联的所述第二数据的子集的特性来选择所述分割规则。

13.根据权利要求12所述的方法，其中决策树训练算法被使用以执行应用所述多个分割规则以及选择所述分割规则的步骤。

14.一种非暂态计算机程序载体，包括计算机程序，所述计算机程序在计算机上被执行时使得所述计算机执行根据权利要求1-13中任一项所述的方法。