[发明专利]用于借助至少一个涂布站来涂布空心体的设备及用于清洁气体喷枪的方法在审
申请号: | 201980028789.2 | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN112041479A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 威尔弗里德·埃默;塞巴斯蒂安·凯齐亚 | 申请(专利权)人: | 科埃斯科波普拉斯特有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/04;C23C16/455;C23C16/54;B08B3/10;B08B7/00;B08B9/00;B08B15/04;B08B3/12 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王富强 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 借助 至少 一个 涂布站来涂布 空心 设备 清洁 气体 喷枪 方法 | ||
1.一种用于借助至少一个涂布站来涂布空心体的设备,所述涂布站包括具有末端区域(7)的气体喷枪(6),
其特征在于,
存在CIP单元,其具有用于清洁流体(2)的进口(3),其中,所述进口(3)能进入清洁位置,且所述气体喷枪(6)和/或所述进口(3)的末端区域(7)定位成使得所述清洁流体(2)在所述清洁位置上浸湿所述气体喷枪(6)的末端区域(7)。
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述气体喷枪(6)和/或导引所述清洁流体(2)的部件的至少一个区段上布置有至少一个加热机构(30),用于加热所述气体喷枪(6)和/或振荡发射器,尤其是超声波发射器(12)。
3.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述清洁流体(2)是在室温和大气压下呈气态的介质,并且设有用于气态清洁流体(2)的冷却机构和/或用于提供液态清洁流体(2)的存储机构与用于液化气体的膨胀单元(36)。
4.根据权利要求2或3中任一项所述的设备,其特征在于,设有壳体(1),尤其是呈钟罩(34)形式,所述壳体在处理位置上能至少部分地行经所述气体喷枪(6)的末端区域(7),并在该处理位置上形成处理室(41)。
5.根据权利要求4所述的设备,其特征在于,在所述处理位置上,所述进口(3)布置在所述壳体(1)的内部中。
6.根据权利要求2至4中任一项所述的设备,其特征在于,所述气体喷枪(6)的末端处存在用于沉积物残留的导出管路,所述导出管路尤其是连接至抽吸单元。
7.根据权利要求1或2中任一项所述的设备,其特征在于,所述CIP单元具有壳体(1)以及除所述进口(3)之外的出口(4),并且存在用于通过所述进口(3)和所述出口(4)在所述壳体(1)的容积内产生流体填充和/或流体回路的装置,其中,所述壳体(1)能进入清洁位置,在所述清洁位置上,所述壳体以流体密封的方式完全包封所述气体喷枪(6)的末端区域(7),并且所述气体喷枪(6)的末端区域(7)定位成使得输送所述清洁流体(2)的流体回路在所述清洁位置上浸湿所述末端区域,而在所述设备正常运行期间不包封所述气体喷枪(6)。
8.根据权利要求7所述的设备,其中,所述壳体(1)与所述气体喷枪(6)之间布置有密封件(5),所述密封件优选为能气动膨胀。
9.根据权利要求7或8中任一项所述的设备,其中,所述壳体(1)呈钟状或杯状构造。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的设备,其中,所述壳体(1)与基板(8)之间布置有密封件(5),所述气体喷枪(6)布置成能在其纵向上沿移动方向(B)移动穿过所述密封件。
11.根据权利要求10所述的设备,其中,所述基板(8)水平延伸并作为所述气体喷枪(6)的组成部分。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的设备,其中,所述气体喷枪(6)固定并在其整个长度上被所述壳体(1)包封。
13.根据权利要求7至12中任一项所述的设备,其中,所述流体回路中存在流体加热器(13)。
14.根据权利要求7至13中任一项所述的设备,其中,所述壳体(1)之中或之上布置有超声波发射器(12)。
15.根据权利要求7至14中任一项所述的设备,其中,所述气体喷枪(6)至少在部分区段中具有导流通道。
16.根据权利要求7至15中任一项所述的设备,其中,所述壳体(1)包封多个气体喷枪(6)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的