[发明专利]光相位调制器和光调制器

权利要求书

1.一种光相位调制器，包括：

衬底；

波导，其安装在衬底上并沿衬底的路径延伸，所述波导具有沿所述波导分布的相移单元的第一系列，每个相移单元具有两个沿所述路径彼此隔开的布拉格光栅和两个隔开的布拉格光栅之间的腔；和

调制电路，其配置为根据调制信号驱动所述波导的相移单元的系列的长度，从而调制所述波导的折射率以诱导向沿波导传播的光信号的相移。

2.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，每个腔是pi相移腔。

3.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，每个腔具有纵向延伸的矩形截面。

4.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述系列的相移单元彼此纵向相邻。

5.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述布拉格光栅中的每个布拉格光栅包括多个纵向隔开的波纹，每个波纹以垂直于所述路径的方式从所述波导突出。

6.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述相移单元的系列是相移单元的第一系列，所述波导具有相移单元的第二系列，所述相移单元的第二系列沿所述路径与所述相移单元的第一系列隔开。

7.根据权利要求6所述的光相位调制器，其中，所述调制信号是第一调制信号，所述调制电路配置为根据不同于所述第一调制信号的第二调制信号驱动所述波导的相移单元的第二系列的长度。

8.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述调制电路具有沿所述波导的两个相对侧的各自一侧延伸的阳极和阴极端子以及与所述阳极和阴极端子电连接的电压源，所述调制包括通过所述电压源驱动所述波导的所述相移单元的第一系列的长度。

9.根据权利要求8所述的光相位调制器，其中，所述波导具有沿所述路径延伸的并限定了沿所述波导纵向延伸的结的p掺杂和n掺杂半导体区，所述阳极和阴极端子电连接至所述p掺杂和n掺杂半导体区，所述调制包括通过所述电压源驱动所述结。

10.根据权利要求9所述的光相位调制器，其中，所述驱动包括反向偏置所述结。

11.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述波导是脊波导。

12.根据权利要求1所述的光相位调制器，其中，所述衬底是绝缘体上硅衬底，该绝缘体上硅衬底包括硅基层、安装在所述硅基层上的绝缘体层、安装在所述绝缘体层上的所述波导以及安装在所述绝缘体层上和所述波导上的覆层，所述波导由硅制成。

13.一种光调制器，包括：

衬底；

沿所述衬底延伸的波导，所述波导具有输入部分，该输入部分通向彼此并联连接的第一臂部分和第二臂部分，并且每个臂部分沿各自路径延伸，所述第一臂部分和第二臂部分彼此结合成至少一个输出部分，所述第一臂部分具有沿其分布的相移单元的第一系列，每个相移单元具有两个沿所述路径彼此隔开的布拉格光栅和两个隔开的布拉格光栅之间的腔；和

调制电路，配置为根据第一调制信号驱动所述波导的所述第一臂部分的所述相移单元的第一系列的长度，从而调制所述波导的所述第一臂部分的所述长度的折射率，以诱导向沿所述波导传播的光信号的相移。

14.根据权利要求13所述的光调制器，其中，所述第二臂部分具有沿其分布的相移单元的第二系列。

15.根据权利要求14所述的光调制器，其中，所述调制电路配置为根据所述第一调制信号驱动所述波导的所述第二臂部分的相移单元的第二系列的长度。