[发明专利]氢回收系统和氢回收方法

权利要求书

1.一种用于氮化物生产设备的氢回收系统，所述氢回收系统包括：

废气供应路径，其配置为接收从氮化物生产设备排出的废气；

氢回收装置，其配置为从废气中净化高纯度氢；以及

氢供应路径，其配置为从氢回收装置向氮化物生产设备供应高纯度氢；

其中，所述氢回收装置包括：

等离子体反应容器，其限定放电空间的至少一部分；

氢分离膜，其将放电空间与同氢供应路径相连通的氢流路径分隔开，通过其一个表面限定放电空间的至少一部分，通过其另一个表面限定氢流路径的至少一部分；

电极，其布置在放电空间外部；以及

吸附剂，其填充在放电空间中并配置为吸附所供应的废气。

2.根据权利要求1所述的氢回收系统，其中，所述氮化物生产设备为金属有机化合物化学气相沉积设备。

3.根据权利要求1或2所述的氢回收系统，其中，所述吸附剂包括沸石和/或活性氧化铝。

4.根据权利要求1-3任一项所述的氢回收系统，进一步地包括：

氨存储容器；以及

氨供应路径，其将氨存储容器连接至氢回收装置的放电空间，其中，氨被供应至放电空间。

5.一种使用氢回收装置从氮化物生产设备排出的废气中回收氢的方法，所述氢回收装置包括：

放电空间，其壁部的至少一部分由等离子体反应容器和氢分离膜限定；

吸附剂，其容纳于放电空间中；以及

氢流路径，其通过氢分离膜与等离子体反应容器分隔开；

所述方法包括以下步骤：

将由氮化物生产设备排出的废气经由废气供应路径引入至放电空间中；

将废气中所包含的氢分子和氢化物吸附到吸附剂上；

在放电空间中产生放电，使吸附在吸附剂上的物质作为原子从吸附剂解吸；

降低氢流路径中的压力，使得放电空间中的氢原子透过氢分离膜；

将已透过氢分离膜的氢原子引入到氢流路径中作为氢分子；以及

经由氢供应路径将已引入到氢流路径中的氢供应至氮化物生产设备。

6.根据权利要求5所述的回收氢的方法，进一步包括将氨供应到放电空间以生产氢的步骤。