[发明专利]腐蚀环境监测方法及腐蚀环境监测系统

说明书

本发明提供一种腐蚀环境监测方法，在成为评价对象的电气电子装置的设备框体的内部狭小的场所内，不需要商用电源、蓄电池等的电源，能够从短期到长期地识别腐蚀性气体的种类。本发明的腐蚀环境监测方法使用腐蚀传感器，透过透明基板观测金属薄膜的变色程度，根据预先观测到的金属薄膜的变色程度与腐蚀性气体的种类的关系，识别腐蚀性气体的种类，所述腐蚀传感器具有一端被封闭、另一端为开口部的通路结构，由透明基板形成相对于开口部的上下表面或左右表面的一部分表面，在透明基板上，且在与从开口部流入的腐蚀性气体接触的表面上形成有金属薄膜。

技术领域

本发明涉及一种腐蚀环境监测方法及腐蚀环境监测系统。

背景技术

电气电子装置为了使自身稳定地工作，要求长期的可靠性。另外，为了高速化、省空间化，采用高密度安装结构，搭载有很多由微细布线结构、薄膜电镀结构构成的电气电子部件。由于微小的腐蚀损伤使电气特性或磁特性变动会成为这些电气电子部件故障、误动作的原因，所以抑制该腐蚀损伤被列举为维持提高电气电子装置的可靠性的课题。

作为电气电子部件的腐蚀的主要原因之一，可以列举出腐蚀性气体。作为其发生源，有由化石燃料的燃烧引起的SO₂、由来自汽车的废气引起的NO₂、由生活排水、废弃物产生的H₂S、以及由作为电气电子装置的构成构件的橡胶、瓦楞纸板等产生的S₈。

在含有这样的腐蚀性气体的环境中，有可能引起电气电子部件的腐蚀损伤，使搭载有该电气电子部件的电气电子装置的可靠性降低。近年来，报告了起因于H₂S或S₈等的还原性硫，发生芯片部件的银电极、印刷布线基板的铜布线的腐蚀损坏的情况(ASHRAE(美国采暖制冷空调学会)TC9.9，2011Gaseous and P1articulate Contamination GuidelinesFor Data Centers)。

设置在这种腐蚀性高的环境中的电气电子装置需要将与环境的腐蚀性的程度相应的防腐蚀对策反映到设计、维护中。因此，要求确定设置电气电子装置的环境的腐蚀性气体的种类，在短期间内简单且高精度地评价环境的腐蚀性。

另外，由于要求电气电子装置省空间化，所以要求评价环境的腐蚀性的装置也小型轻量。

对此，作为评价设置电气电子装置的环境的腐蚀性的方法，在ISO11844-1标准中，使用评价暴露一定期间的铜、银、铝、铁、锌的腐蚀程度的方法。已知铜、银、铝、铁、锌的影响程度不同，但即使在SO₂、NO₂、H₂S中的任一种腐蚀性气体中都会腐蚀。在该ISO11844-1标准中，用重量法对暴露1年的金属的腐蚀程度、或者用电化学测定法对暴露的金属的腐蚀生成物进行定量化。

进而，作为本技术领域的背景技术，有日本专利第5798955号公报(专利文献1)。在该公报中，记载了一种腐蚀环境监测装置，其特征在于，具备腐蚀环境监测装置，该腐蚀环境监测装置由具有一个开口部的通路结构和形成在透明基板上的金属薄膜构成，其中，所述透明基板形成与来自开口部的腐蚀性物质的扩散方向平行的通路结构的一部分的壁面，腐蚀环境监测装置能够通过透明基板测定因在规定期间内放置在被测定环境中的金属薄膜的腐蚀生成物而变化的色调的区域的形状尺寸，腐蚀环境监测装置的金属薄膜由规定的材料构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5798955号公报

发明内容

发明要解决的问题