[发明专利]微粒子的制造方法、及微粒子的制造装置

说明书

本发明提供一种微粒子的制造方法及制造装置，能够制造并获得良好的粒度分布的微粒子。本发明的微粒子的制造方法是：将微粒子制造用原料间歇地供给至调制感应热等离子体焰中，使原料蒸发而成为气相状态的混合物，再将混合物冷却来制造所述微粒子；在该微粒子的制造方法中，产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰来作为热等离子体焰，并且使调制感应热等离子体焰周期性地成为高温状态及比高温状态温度更低的低温状态，当调制感应热等离子体焰处在高温状态的期间，将原料与载气一起供给，当调制感应热等离子体焰处在低温状态的期间，则停止供给原料，只供给与载气相同种类的气体。

技术领域

本发明涉及微粒子的制造方法及微粒子的制造装置，尤其关于：将微粒子制造用原料供给至热等离子体焰中来使该原料蒸发而产生气相状态的混合物，再将该混合物冷却来制造微粒子的微粒子的制造方法及微粒子的制造装置。

背景技术

目前，硅微粒子、氧化物微粒子、氮化物微粒子及碳化物微粒子等微粒子已经被用于各种技术领域中。用来制造这种微粒子的制造方法之一，可举出气相法。在气相法中，具有：将各种气体等利用高温使其产生化学反应的化学方法；以及照射电子光束或激光之类的光束来使物质分解或蒸发而生成微粒子的物理方法。

作为气相法的其他方法，还有热等离子体法。所谓的热等离子体法，是将原材料在热等离子体焰中瞬间蒸发之后，再使得该蒸发物急速冷却凝固来制造微粒子的方法。根据热等离子体法，其具有：很干净而且生产性很高，因为是利用高温所以热容量很大因而也可以对应高融点的材料，与其他气相法相比，可更容易进行复合化等优点。因此，热等离子体法已经作为制造微粒子的方法积极地被采用。

已知的使用热等离子体法的微粒子的制造方法，是采用粉末状的原材料物质，将这种做成粉末状的原材料(粉末原材料、粉体)与载气等一起，分散开来且直接投入热等离子体焰中，来制造微粒子。关于使用这种热等离子体法的微粒子的制造方法，已经有好几个改良例被报告出来了(请参照例如：专利文献1及专利文献2)。

专利文献1(尤其是，请参照专利文献1的权利要求书、说明书中的第0061段及图5等)所揭示的技术，是将微粒子制造用原料分散开来而供给至热等离子体焰中进行蒸发而成为气相状态的混合物，再将该混合物冷却来制造微粒子时，将用来产生及维持热等离子体焰的线圈电流进行振幅调制，来使得原料刚刚蒸发后的蒸气因为等离子体收缩所产生的急剧的温度变化而进行急速冷却。如此一来，可抑制所生成的微粒子的粒子成长，而可获得更细微的微粒子。

专利文献2(尤其是，请参照专利文献2的第0024段等)所揭示的技术，是在利用气相法来进行制造微粒子时，将原料间歇地供给至热等离子体焰。如此一来，可抑制蒸气内的粒子发生接合成长。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-131577号公报

专利文献2：日本特开2005-177662号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，在制造微粒子时，最好是能够将所获得的微粒子的大小(粒度)凑整齐，换言之，最好是使得粒度的分布范围缩小。因此，寻求一种用来制造微粒子的方法，其既可活用专利文献1及专利文献2所揭示的技术的优点，又可以更为缩小粒度的分布范围(换言之，缩小粒度的大小差异)。

因此，本发明就是鉴于上述情况而进行开发完成的，其目的是提供：在使用热等离子体法制造微粒子时，可以制造出具有良好的粒度分布的微粒子的微粒子的制造方法、以及很适合用来实施这种制造方法的微粒子的制造装置。

用于解决技术问题的手段