[发明专利]超声阵列换能器的制造

权利要求书

1.一种用于制造柔性超声换能器或在制造所述柔性超声换能器中使用的方法，所述柔性超声换能器用于成像和非破坏性测试，所述方法包括：

在箔衬底上提供压电材料层；

采用一个或多个增材技术将多个电极施加于所述压电材料的表面，并且将多个导电线路和多个电连接器施加于所述压电材料的所述表面或施加于设置在所述压电材料的所述表面上的电介质材料中间层，其中所述多个电极以电极阵列布置，并且相应的导电线路将相应的电极电连接至相应的电连接器；

其中，所述一个或多个增材技术包括掩模、沉积、光图形化、印刷或图形化涂覆中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，至少所述电极、导电线路和电连接器均为采用所述一个或多个增材技术一体形成。

3.根据权利要求1所述的方法，包括：

将抗蚀材料施加于所述压电材料层的所述表面；

提供掩膜板，所述掩膜板限定开口图案，所述开口图案反映或象征所述电极的形状、所述导电线路的形状和/或所述电连接器的形状；

通过所述掩膜板将辐射施加于所述抗蚀材料，使得所述抗蚀材料的仅选定区域接收所述辐射，并受所述掩膜板的所述开口图案所控制，使得所接收的辐射与所述抗蚀材料的接收所述辐射的所述选定区域进行选择性地交联或以其他方式改变所述选定区域或与所述选定区域进行反应；

根据所述抗蚀材料层的一部分是否接收到所述辐射来去除所述抗蚀材料层的所述一部分；以及

将导电材料至少施加于未被抗蚀材料覆盖的所述压电材料的一部分，以形成所述多个电极、所述多个导电线路和/或所述多个电连接器。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电极阵列的电极为细长形。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，其中，所述电极阵列的电极为0.1mm到10mm长且为0.01mm到0.1mm宽，并且彼此间隔开0.01mm到0.1mm。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，其中，所述多个导电线路中的一个或多个导电线路中的至少一部分或所述多个导电线路中的每一个导电线路的至少一部分远离其他导电线路中的一个或多个导电线路延伸、展开或成扇形散开，或者远离所述其他导电线路中的每一个导电线路延伸、展开或成扇形散开。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述电连接器之间的间隔大于所述电极阵列的电极之间的间隔。

8.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，其中，所述电极阵列包括8至256个电极。

9.根据权利要求1至4中任意一项所述的方法，包括在所述多个导电线路中的至少一部分或全部导电线路和/或所述多个电极中的至少一部分或全部电极上、周围和/或之间提供封装材料。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述封装材料为电绝缘的电介质材料。

11.一种柔性超声换能器阵列，包括：

布置在金属箔衬底上的压电材料层；

以电极阵列布置在所述压电材料的表面上的多个电极；

在所述压电材料的所述表面上或者在位于所述压电材料层的所述表面上的电介质材料中间层上的多个导电线路和多个电连接器；其中：

相应的导电线路将相应的电极电连接至相应的电连接器；

所述相应的电极与所述相应的导电线路成为一体。

12.根据权利要求11所述的柔性超声换能器阵列，其中，所述电极阵列的至少一个或每一个电极为0.1mm到10mm长且为0.01mm到1mm宽，并且彼此间隔开0.01mm到0.1mm。

13.根据权利要求12所述的柔性超声换能器阵列，其中，所述导电线路中的至少一个或每一个导电线路的至少一部分远离其他导电线路中的至少一个或每一个导电线路延伸、展开或成扇形散开。