[发明专利]功率半导体模块及其制造方法以及电力变换装置在审
申请号: | 201980029908.6 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN112074954A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 清水悠矢;坂元创一;长谷川真纪 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/48;H01L25/00;H01L25/18 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 半导体 模块 及其 制造 方法 以及 电力 变换 装置 | ||
1.一种功率半导体模块,具备:
多个引线端子,包括第1引线端子和离开所述第1引线端子设置的第2引线端子;
功率半导体芯片;
芯片电容器,包括第1电极和第2电极;
电子元件,种类与所述芯片电容器不同;以及
密封部件,密封所述功率半导体芯片、所述芯片电容器及所述电子元件,
所述功率半导体芯片被接合到所述多个引线端子的至少1个,
所述电子元件用第1导电性粘接部接合到所述第1引线端子,所述第1导电性粘接部以第1含有率包含导电性填充物,
所述芯片电容器的所述第1电极和所述第2电极用第2导电性粘接部分别接合到所述第1引线端子和所述第2引线端子,所述第2导电性粘接部以比所述第1含有率高的第2含有率包含所述导电性填充物。
2.一种功率半导体模块,具备:
多个引线端子,包括第1引线端子和离开所述第1引线端子设置的第2引线端子;
功率半导体芯片;
芯片电容器,包括第1电极和第2电极;
电子元件,种类与所述芯片电容器不同;以及
密封部件,密封所述功率半导体芯片、所述芯片电容器及所述电子元件,
所述功率半导体芯片被接合到所述多个引线端子的至少1个,
所述电子元件用第1导电性粘接部接合到所述第1引线端子,所述第1导电性粘接部包含第1导电性填充物,
所述芯片电容器的所述第1电极和所述第2电极用第2导电性粘接部分别接合到所述第1引线端子和所述第2引线端子,所述第2导电性粘接部包含第2导电性填充物,
所述第2导电性粘接部具备比所述第1导电性粘接部低的电阻率。
3.根据权利要求1或者2所述的功率半导体模块,其中,
所述第1导电性粘接部还包含由绝缘性无机材料构成的绝缘性粒子。
4.根据权利要求3所述的功率半导体模块,其中,
所述绝缘性粒子由从由二氧化硅、氧化铝以及氮化铝构成的群选择的1个以上的无机材料构成。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的功率半导体模块,其中,
所述第1引线端子包括第1贯通孔,
所述第2引线端子包括第2贯通孔,
所述第1贯通孔以及所述第2贯通孔用所述密封部件填充。
6.根据权利要求1所述的功率半导体模块,其中,
所述第2含有率是75重量%以上。
7.根据权利要求1所述的功率半导体模块,其中,
所述第1含有率是65重量%以下。
8.根据权利要求1所述的功率半导体模块,其中,
所述导电性填充物由从由银、镍以及铜构成的群选择的1个以上的导电性材料构成。
9.根据权利要求2所述的功率半导体模块,其中,
所述第1导电性填充物由从由银、镍以及铜构成的群选择的1个以上的导电性材料构成,
所述第2导电性填充物由从由银、镍以及铜构成的群选择的1个以上的导电性材料构成。
10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的功率半导体模块,其中,
与所述第1电极对置的所述第1引线端子的第1表面和与所述第2电极对置的所述第2引线端子的第2表面包含铜或者锡。
11.根据权利要求1至10中的任意一项所述的功率半导体模块,其中,
所述第1电极和所述第2电极包含铜或者锡。
12.根据权利要求1至11中的任意一项所述的功率半导体模块,其中,
所述电子元件是整流用半导体芯片。
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