[发明专利]用于基于高温光刻的光致聚合工艺的可固化组合物和由其制备交联聚合物的方法

权利要求书

1.一种用于光致聚合工艺的可固化组合物，所述组合物包含：

韧性改性剂，其中所述韧性改性剂是数均分子量大于5kDa的可聚合低聚物；以及

反应性稀释剂，其中所述反应性稀释剂是分子量为0.1至1.0kDa的可聚合化合物，且其中所述反应性稀释剂的含量使得所述组合物在110℃下的粘度为1至70Pa·s。

2.一种用于光致聚合工艺的可固化组合物，所述组合物包含：

韧性改性剂，其中所述韧性改性剂是数均分子量大于5kDa的可聚合低聚物；以及

反应性稀释剂，其中所述反应性稀释剂是分子量为0.1至1.0kDa的可聚合化合物，且其中所述反应性稀释剂的含量使得所述组合物在90℃下的粘度为小于70Pa·s。

3.如权利要求1至2中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂的玻璃化转变温度(T_g)为低于0℃。

4.如权利要求1至3中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂的含量使得当根据ISO 527-2 5B测量时，任选地在十字头速度为5mm/min时，由所述可固化组合物制备的交联聚合物的断裂伸长率为大于或等于5％。

5.如权利要求1至4中任一项所述的组合物，基于组合物的总重量，其包含20至50wt％的韧性改性剂。

6.如权利要求1至5中任一项所述的组合物，基于组合物的总重量，其包含5至50wt％的反应性稀释剂。

7.如权利要求1至6中任一项所述的组合物，基于组合物的总重量，其进一步包含0.1至5wt％的光引发剂。

8.如权利要求1至7中任一项所述的组合物，其进一步包含玻璃化转变温度(T_g)改性剂；所述玻璃化转变温度(T_g)改性剂具有高于所述韧性改性剂的玻璃化转变温度，并且是数均分子量为0.4至5kDa的可聚合低聚物。

9.如权利要求8所述的组合物，基于组合物的总重量，其包含5至50wt％的玻璃化转变温度(T_g)改性剂。

10.如权利要求1至9中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂选自聚烯烃、聚酯或聚氨酯。

11.如权利要求1至10中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂包含氨基甲酸酯基团。

12.如权利要求11所述的组合物，其中所述韧性改性剂进一步包含碳酸酯基团。

13.如权利要求1至12中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂包含至少一个甲基丙烯酸酯基团。

14.如权利要求1至13中任一项所述的组合物，其中所述韧性改性剂是式(II)、(III)、(IV)或(V)的化合物。

15.如权利要求1至14中任一项所述的组合物，其中所述反应性稀释剂是单官能的。

16.如权利要求1至15中任一项所述的组合物，其中所述反应性稀释剂包含甲基丙烯酸酯。

17.如权利要求1至14中任一项所述的组合物，其中所述反应性稀释剂选自聚二醇的二甲基丙烯酸酯、羟基苯甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、及其混合物。

18.如权利要求1至14中任一项所述的组合物，其中所述反应性稀释剂是2-、3-或4-((甲基)丙烯酰氧基)苯甲酸环烷基酯。