[发明专利]用于多通道质量流量和比率控制系统的方法和装置

权利要求书

1.一种流体控制系统，所述流体控制系统包括：

多个流道，各个流道包括流量限制器、流量调节阀以及位于所述流量限制器与所述流量调节阀之间的通道压力传感器；

共享的流道，所述共享的流道将流体输送到所述多个流道，或者从所述多个流道输送流体，针对各个流道，所述流量限制器位于所述通道压力传感器与所述共享的流道之间；

共享的压力传感器，所述共享的压力传感器位于所述共享的流道中，所述共享的压力传感器被配置为对共享的流道的压力进行检测；以及

控制器，所述控制器基于通道压力和所述共享的流道的压力来确定通过所述流道中的各个流道的质量流量，并且对所述流道的所述流量调节阀进行控制，以控制通过各个流道的质量流量。

2.根据权利要求1所述的流体控制系统，其中，所述多个流道中的各个流道还包括温度传感器。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制系统，其中，所述控制器基于流过各个流道的所述流体的特性、所述流量限制器的特性以及所述流量限制器与所述共享的压力传感器之间的流道特性来确定通过所述各个流道的质量流量。

4.根据权利要求3所述的流体控制系统，其中，所述流道特性是所述流道的从所述流量限制器到所述共享的压力传感器的容积和长度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的流体控制系统，其中，所述控制器递归地确定(1)与所述流量限制器相邻并且与所述多个流道的所述通道压力传感器相反的位置的通道压力，(2)通过各个流道的质量流量，以及(3)通过所述共享的通道的总质量流量。

6.根据前述权利要求中任一项所述的流体控制系统，其中，所述控制器通过以下方式确定通过所述多个流道中的流道的质量流量：(i)假定与所述流量限制器相邻并且与所述流道的所述通道压力传感器相反的流道压力，所述通道压力传感器提供检测到的流道压力，(ii)基于与所述流量限制器相邻并且与所述通道压力传感器相反的所述流道压力以及所述流道的所述检测到的流道压力来确定通过所述流道的所述质量流量，(iii)基于通过所述多个流道中的各个流道的质量流量来确定总质量流量，(iv)使用在步骤(iii)中确定的所述总质量流量来计算与所述流量限制器相邻并且与所述流道的所述通道压力传感器相反的所述流道压力，以及重复步骤(ii)至步骤(iv)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的流体控制系统，其中，所述共享的流道在所述多个流道的下游。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的流体控制系统，其中，所述共享的流道在所述多个流道的上游。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的流体控制系统，所述流体控制系统还包括：

第二多个流道，所述第二多个流道中的各个流道包括流量限制器、流量调节阀以及位于所述流量限制器与所述流量调节阀之间的通道压力传感器；

所述共享的流道将流体从所述多个流道输送到所述第二多个流道；

针对所述第二多个流道中的各个流道，所述流量限制器位于所述通道压力传感器与所述共享的流道之间；其中，所述控制器还基于通道压力和所述共享的流道的压力来确定通过所述第二多个流道中的各个流道的质量流量，并且对所述流道的所述流量调节阀进行控制，以控制通过各个流道的质量流量。