[发明专利]激光加工设备、其操作方法以及使用其加工工件的方法

权利要求书

1.一种用于加工工件的激光加工设备，所述设备包括：

激光源，操作用以产生激光能量射束，其中，所述激光能量射束可沿着射束路径传播；

声光偏折器系统，被排列在所述射束路径内并且操作用以偏折所述激光能量射束可沿着传播的射束路径；

分光器，被排列在所述声光偏折器系统的光学下游处，所述分光器被配置成用以反射沿着来自所述声光偏折器系统的射束路径传播的所述激光能量射束的第一部分并且用以透射沿着来自所述声光偏折器系统的射束路径传播的所述激光能量射束的第二部分，其中，所述激光能量射束的所述第一部分沿着第一路径传播以及所述激光能量射束的所述第二部分沿着第二路径传播；以及

激光传感器系统，被排列在所述第二路径内，其中，所述激光传感器系统被配置成用以量测沿着所述第二路径传播的激光能量且其中，所述激光传感器系统包含：

积分球，具有第一埠与第二埠，其中，所述第一埠对齐所述第二路径，使得所述激光能量射束的所述第二部分可传播至所述积分球之中；以及

光侦测器，对齐所述第二埠，使得所述积分球里面的激光能量可传播至所述光侦测器之中。

2.根据权利要求1的激光加工设备，其中，所述分光器包含部分反射面镜。

3.根据权利要求1的激光加工设备，其进一步包括扫描透镜，被排列在所述第一路径内，其中，所述扫描透镜被配置成用以聚焦所述激光能量射束的所述第一部分。

4.根据权利要求1的激光加工设备，其进一步包括射束定位器，被排列在所述第一路径内，其中，所述射束定位器被配置成用以偏折可沿着传播所述激光能量射束的所述第一部分的第一路径。

5.一种激光加工设备，其包括：

激光源，操作用以产生激光能量射束，其中，所述激光能量射束可沿着射束路径传播；

扫描透镜，被排列在所述射束路径中并且操作用以聚焦所述激光能量射束；

第一定位器，被排列在所述激光源及所述扫描透镜之间，其中所述第一定位器操作用以相对于所述扫描透镜来偏折所述射束路径；以及

射束特征化工具，其中所述射束特征化工具包括:

符记，其具有基板及界定至少一个形成在所述基板上的边缘的目标物，其中，所述目标物由不透射所述激光能量射束的材料所形成，且其中，所述基板由相较于所述目标物较会透射所述激光能量射束的材料所形成；

积分球，其具有第一埠和第二埠，其中所述第一埠对齐所述符记，

使得所述激光能量射束的一部分传播通过所述符记的所述基板到所述积分球；以及

光侦测器，对齐所述第二埠，使得所述积分球里面的激光能量可传播至所述光侦测器。

6.根据权利要求5的激光加工设备，其进一步包括被排列在所述射束路径中的分光器，所述分光器操作用以将所述激光能量射束分离成加工射束与取样射束，使得所述加工射束传播到所述扫描透镜并且所述取样射束传播到所述射束特征化工具。

7.根据权利要求6的激光加工设备，其中所述分光器被排列在所述第一定位器和所述扫描透镜之间的所述射束路径中。

8.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述第一定位器包括声光偏折器(AOD)系统。

9.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述第一定位器包括检流计面镜系统。

10.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述目标物由反射所述激光能量射束的材料所形成。

11.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述目标物由吸收所述激光能量射束的材料所形成。

12.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述目标物界定多个边缘。

13.根据权利要求5的激光加工设备，其中所述符记包括形成在所述基板上的多个符记。