[发明专利]基板搬运机器人及基板保持手的光轴偏差检测方法

权利要求书

1.一种基板保持手的光轴偏差检测方法，其特征在于，

是在具备保持基板的手、包括所述手的回转轴且使该手位移的机械臂及设置于所述手的梢端部的光电传感器的基板搬运机器人中，检测所述光电传感器的光轴相对于所述手上规定的理想光轴的偏差的方法，包括：

取得如所述理想光轴在水平的某第一方向上延伸的、以所述回转轴为回转中心的所述手的基准回转位置；

进行一系列的第一搜寻处理，该一系列的第一搜寻处理一边使所述手在以所述基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以所述回转轴为中心的放射方向移动，一边藉由所述光电传感器检测第一目标体，求出检测到所述第一目标体时所述手的与所述第一方向正交的水平的第二方向的位置作为第一检测位置；

进行一系列的第二搜寻处理，该一系列的第二搜寻处理一边使所述手在以所述基准回转位置为基准的指定的第二回转位置向以所述回转轴为中心的放射方向移动，一边藉由所述光电传感器检测第二目标体，求出检测到所述第二目标体时所述手的所述第二方向的位置作为第二检测位置；以及

基于所述第一检测位置与所述第二检测位置的差，检测所述光轴相对于所述理想光轴的倾斜；

从所述回转轴至所述第一目标体为止的所述第二方向的距离与从所述回转轴至所述第二目标体为止的所述第二方向的距离相等，

所述手上的所述光轴和所述第一目标体的交叉位置与所述光轴和所述第二目标体的交叉位置不同。

2.根据权利要求1所述的基板保持手的光轴偏差检测方法，其特征在于，

所述第一目标体与所述第二目标体在所述第一方向上排列，且所述第一目标体与所述第二目标体位于与所述第二方向垂直的同一平面内；

所述第一回转位置及所述第二回转位置均为所述基准回转位置。

3.根据权利要求1所述的基板保持手的光轴偏差检测方法，其特征在于，

所述第一目标体与所述第二目标体一致；

所述第一回转位置及所述第二回转位置均为所述基准回转位置；

所述第一搜寻处理中的所述手的轨迹与所述第二搜寻处理中的所述手的轨迹在所述第一方向上分离。

4.根据权利要求1所述的基板保持手的光轴偏差检测方法，其特征在于，

所述第一目标体与所述第二目标体一致，

所述第一回转位置是从所述基准回转位置向回转方向的一方回转指定角度的位置，所述第二回转位置是从所述基准回转位置向所述回转方向的另一方回转指定角度的位置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板保持手的光轴偏差检测方法，其特征在于，

还包括：

使所述手通过在所述基准回转位置向所述第二方向进入而向指定的基板载置位置移动，从所述手向设置于该基板载置位置的基板载置部移载所述基板；

将所述手中与保持于该手的所述基板的中心在垂直方向上重合的位置规定为手中心，使所述手从所述基板载置位置向所述第二方向后退所述手中心与所述理想光轴的距离加上所述基板的半径所得的距离，求出该手的所述第二方向的位置作为基准位置；

一边使所述手向所述第二方向进退移动，一边藉由所述光电传感器搜寻所述基板的边缘，求出所述搜寻中检测到所述基板的边缘时所述手的所述第二方向的位置作为第三检测位置；以及

基于所述基准位置与所述第三检测位置的差，检测所述光轴相对于所述理想光轴的位置偏差。