[发明专利]用于光学反射镜的由复合材料制造的镜背载体及其制造方法

权利要求书

1.一种镜背载体(1)，其包含：

-包含金刚石颗粒增强的铝复合材料的镜主体(2)，和

-设置在镜主体(2)上的抛光层(3)，

其中，

-铝复合材料中的金刚石颗粒的含量为5质量％至50质量％，并选择成使镜主体(2)的线性热膨胀系数适应于抛光层(3)的线性热膨胀系数，

-镜主体(2)通过增材制造生产，和

-内部冷却结构(6)、支撑结构(7)和轻质结构中的至少一个整合到镜主体(2)中。

2.根据权利要求1所述的镜背载体，其中铝复合材料中的金刚石颗粒含量选择成使镜主体(2)在-180℃至100℃的温度下的热膨胀系数为3×10^-6/K至20×10^-6/K。

3.根据权利要求1所述的镜背载体，其中铝复合材料中的金刚石颗粒含量为10质量％至20质量％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的镜背载体，其中抛光层(3)包含NiP、SiC、Si、SiO₂、Si₃N₄或ZrO₂。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的镜背载体，其中抛光层(3)包含RMS粗糙度最多为5nm的表面。

6.一种反射镜(4)，其包括根据前述权利要求中任一项所述的镜背载体(1)，其中抛光层(3)上设置有至少一个反射层(5)。

7.一种用于制造镜背载体(1)的方法，其包括以下步骤：

-通过增材制造，制造包含金刚石颗粒增强的铝复合材料的镜主体(2)，和

-在镜主体(2)上施加抛光层(3)，

其中，

-铝复合材料中的金刚石颗粒的含量为5质量％至50质量％，并选择成使镜主体(2)的线性热膨胀系数适应于抛光层(3)的线性热膨胀系数，和

-在增材制造过程中，将内部冷却结构(6)、支撑结构(7)和轻质结构中的至少一个整合到镜主体(2)中。

8.根据权利要求7所述的方法，其中通过选择性激光熔化实现增材制造。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其还包括步骤：

-在130℃至200℃的温度下对镜主体(2)的复合材料和抛光层(3)进行热处理。

10.根据权利要求7或8所述的方法，其还包括步骤：

-抛光抛光层(3)的表面以使其RMS粗糙度值小于5nm。