[发明专利]用于太阳能电池串接的激光辅助金属化工艺

说明书

本发明描述了使用激光束对半导体基板进行的金属化以及所得的结构，例如微电子装置、半导体基板和/或太阳能电池、太阳能电池电路、太阳能电池串和太阳能电池阵列。太阳能电池串可包括多个太阳能电池。所述多个太阳能电池可包括基板以及设置在所述基板之中或之上的多个半导体区。多个导电接触结构电连接至所述多个半导体区。每个导电接触结构均包括局部沉积的金属部分，所述局部沉积的金属部分设置为与所述半导体区中的对应一者接触。

相关申请的交叉引用

本专利申请要求早前于2018年11月29日提交的美国临时专利申请系列第62/773,172号、于2018年11月29日提交的美国临时专利申请系列第62/773,168号、于2018年11月29日提交的美国临时专利申请系列第62/773,148号以及于2018年4月6日提交的美国临时专利申请系列第62/654,198号的优先权和权益，这些临时专利申请中的每篇全文据此以引用方式并入本文。本专利申请还要求早前于2019年4月5日提交的名称为“LocalMetallization for Semiconductor Substrates using a Laser Beam”(使用激光束对半导体基板进行局部金属化)的美国临时专利申请系列第16/376,802号(代理人案卷号131815-244461_P270，SunPower参考编号S2040US)的优先权和权益，其据此全文以引用方式并入本文。

技术领域

本公开的实施例属于可再生能源或半导体加工领域，并且特别地包括使用激光束对半导体基板的金属化以及所得的结构。

背景技术

光伏电池(常称为太阳能电池)是熟知的用于将太阳辐射直接转换为电能的装置。一般来讲，使用半导体加工技术在基板的表面附近形成p-n结，从而在半导体晶片或基板上制造太阳能电池。照射在基板表面上并进入基板内的太阳辐射在基板块体中形成电子和空穴对。所述电子和空穴对迁移至基板中的p掺杂区和n掺杂区，从而在掺杂区之间产生电压差。将掺杂区连接至太阳能电池上的导电区，以将电流从电池引导至与其耦接的外部电路。

电转换效率是太阳能电池的重要特性，因其直接与太阳能电池的发电能力有关；更高的效率为最终客户提供了附加价值；并且在其他所有条件相同的情况下，更高的效率也降低了每瓦特的制造成本。同样，简化的制造方法提供了通过降低生产单位成本来降低制造成本的机会。因此，提高太阳能电池效率的技术和简化太阳能电池的制造的技术是普遍需要的。

附图说明

图1A至图1F示出制造太阳能电池串的方法中的操作的侧视图。

图2示出了用于构造太阳能电池的示例性工作流程。

图3A和图3B示出制造太阳能电池串的方法中的操作的侧视图。

图4示出制造太阳能电池串的方法中的操作的侧视图。

图5示出多太阳能电池串的侧视图。

图6示出太阳能电池串的操作的侧视图。

图7示出太阳能电池串的操作的侧视图。

图8A和图8B示出制造太阳能电池串的方法中的操作的侧视图。

图9示出多太阳能电池串的侧视图。

图10A和图10B示出制造太阳能电池串的方法中的操作的侧视图。

图11示出制造太阳能电池串的方法的侧视图。

图12示出制造太阳能电池串的方法的侧视图。

图13为太阳能电池串的平面图。

图14A至图14D示出制造太阳能电池的方法中的各种操作的剖视图。

图15A至图15C示出太阳能电池的剖视图。