[发明专利]用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备

权利要求书

1.用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法，该制造方法具有以下步骤：

提供具有前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；

在所述第一衬底(S1)中形成多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；

沿着所述列(R1、R2)中的每一列形成相应的连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；并且

将所述光学窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，相邻的槽(N1、N2)沿相反的方向倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述光学窗(G1、G2)沿着所述光学窗的整个周边严密密封地接合。

4.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)以机械磨削过程形成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，在形成所述槽(N1、N2)之后将第二衬底(S2)键合到所述前侧(VS)上，其中，在所述第二衬底(S2)中形成用于装入所述光学窗(G1、G2)的装入开口(D1、D2)。

6.根据权利要求5所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)和所述第二衬底(S2)这样构型，使得所述光学窗(G1、G2)完全沉降在所述第二衬底(S2)中。

7.根据权利要求5或6所述的制造方法，其中，所述装入开口(D1、D2)构造为用于所述光学窗(G1、G2)的侧面导向部。

8.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，所述光学窗(G1、G2)为了接合在边缘上环绕地设有玻璃焊剂，然后通过取放过程装入到所述槽(N1、N2)中，然后在装入状态中以热的方式在所述玻璃焊剂软化的情况下严密密封地接合。

9.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，所述第一衬底和/或第二(S1、S2)是晶片衬底、尤其是玻璃晶片衬底、硅晶片衬底、陶瓷晶片衬底、金属晶片衬底或塑料晶片衬底。

10.具有倾斜的光学窗的微机械设备，具有：

带前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；

在所述第一衬底(S1)中的多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；

沿着所述列(R1、R2)中的每一列的相应连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于所述倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；

多个光学窗(G1、G2)，所述光学窗在所述通孔(F1、F2)上方严密密封地接合到所述槽(N1、N2)中。

11.根据权利要求10所述的具有倾斜的光学窗的微机械设备，其中，相邻的槽(N1、N2)以相反的方向倾斜。

12.根据权利要求10或11所述的具有倾斜的光学窗的微机械设备，其中，所述光学窗(G1、G2)沿着所述光学窗的整个周边严密密封地接合。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的具有倾斜的光学窗的微机械设备，其中，第二衬底(S2)键合到所述前侧(VS)上，其中，在所述第二衬底(S2)中形成用于装入所述光学窗(G1、G2)的装入开口(D1、D2)。

14.根据权利要求10至13中任一项所述的具有倾斜的光学窗的微机械设备，其中，所述槽(N1、N2)和所述第二衬底(S2)构型成，使得所述光学窗(G1、G2)完全沉降在所述第二衬底(S2)中。

15.根据权利要求10至14中任一项所述的具有倾斜的光学窗的微机械设备，其中，所述装入开口(D1、D2)构造为用于所述光学窗(G1、G2)的侧面导向部。